박판형 반도체 소재 검사장치 document_id 2020030024634

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 소재적층수단(200)은,메인베이스(1000)에 고정된 제 1지지대(210);상기 제 1지지대(210)에 고정되어 상기 제어수단의 제어에 의해 회전되는 제 1정역모터(212);상기 제 1지지대(210)에 수직방향으로 회전가능하게 지지되고, 상기 제 1정역모터(212)에 의해 회전되는 제 1리드스크류(214);상기 제 1리드스크류(214)의 회전에 의해 승강되도록 상기 제 1리드스크류(214)에 결합되고, 상기 제 1지지대(210)에 형성된 수직 가이드레일(211)에 의해 회전이 억제되는 제 1승강유닛(216);하단이 상기 제 1승강유닛(216)에 결합되고, 상단이 상기 메인베이스(1000)의 상방으로 돌출된 제 1승강축(218);상기 제 1승강축(218)의 상단부에 결합되고, 상기 박판형 반도체 소재(100)가 적층되는 제 1적재판(220); 및상기 제 1지지대(210)에 설치되어 상기 제 1승강유닛(216)이 상승한계치 및 하강한계치에 도달하는 것을 감지하여 상기 제어수단에 전달하는 한쌍의제1센서포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 3] 청구항 2에 있어서,상기 소재적층수단(200)은, 상기 적재판(220)에 적층되는 상기 반도체 소재(100)의 측면을 가이드하기 위한제1가이드장치더포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 4] 청구항 3에 있어서,상기 제 1가이드장치(250)는,상기 박판형 반도체 소재(100)를 사이에 두고 양측에서 상기 메인베이스(1000)에 회전가능하게 지지되고, 중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 한쌍이 동시에 회전되는 제 2리드스크류(252);상기 제 2리드스크류(252)를 회전시키기 위하여 일측의 상기 제 2리드스크류(252)에 결합된 제 1회전레버(258);상기 각 제 2리드스크류(252)의 양측에 각각 결합되어 상기 제 2리드 스크류의 회전에 의해 수평이동되는 각 한쌍의 제 1수평이동유닛(254);상기 각 한쌍의 제 1수평이동유닛(254)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 1적재판(220)에 적재된 상기 박판형 반도체 소재(100)의 제 1측방향을 가이드 하는 제 1측방가이드(256);상기 제 1리드스크류(214)와 90° 회전된 각도로 상기 박판형 반도체 소재(100)를 사이에 두고 양측에서 상기 메인베이스(1000)상에 회전가능하게 지지되고, 중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 한쌍이 동시에 회전되는 제 3리드스크류(260);상기 제 3리드스크류(260)를 회전시키기 위하여 일측의 상기 제 3리드스크류(260)에 결합된 제 2회전레버(266);상기 각 제 3리드스크류(260)의 양측에 각각 결합되어 상기 제 3리드 스크류의 회전에 의해 수평이동되는 각 한쌍의 제 2수평이동유닛(262);상기 각 한쌍의 제 2수평이동유닛(262)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 1적재판(220)에 적재된 상기 박판형 반도체 소재(100)의 제 2측방향을 가이드 하는 제 2측방가이드(264); 및상기 제 1측방가이드(256) 및 상기 제 2측방가이드(264) 중 하나에 설치되어 상기 박판형 반도체 소재(100)의 적층 높이를 감지하여 상기 제어수단에 전달하는제2센서포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 5] 청구항 1에 있어서,상기 소재고정수단(300)은,메인베이스(1000)에 지지되고 상기 제어수단에 의해 제어되는 진공펌프에 연결되는 다수의 공기통로(334)가 형성된 고정부(312)와, 상기 고정부(312)에 회전가능하게 결합되며 각각의 상기 공기통로(334)와 회전도중에도 항상 연결되는 각각의 공기통로(334)를 갖는 회전부(314)를 갖는 로터리매니폴더(310);상기 회전부(314)에 결합되고, 상기 회전부(314)의 각 공기통로(334)와 연결되는 공기통로(334)가 형성되며, 상기 메인베이스(1000)의 상방으로 돌출된 회전파이프(320);상기 메인베이스(1000)에 설치되어 상기 제어수단의 제어에 의해 상기 회전파이프(320)를 회전시키는 제 1서보모터(322);상기 회전파이프(320)의 상단부에 결합되고, 상기 회전파이프(320)의 각 공기통로(334)와 연결되는 공기통로(334)가 각각 방사방향으로 형성되며, 각 공기통로(334)의 단부에는 상방으로 연통된 다수의 흡입공(336)을 갖는 다수의 안착부(332)가 형성된 회전판(330); 및상기 메인베이스(1000)에 설치되어 상기 회전판(330)의 회전상태를 감지하여 상기 제어수단에 전달하는제3센서포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 6] 청구항 5에 있어서,상기 소재고정수단(300)은,상기 메인베이스(1000)에 설치되어 상기 박판형 반도체 소재(100)가 최초에 놓여지는 위치에 도착한 상기 안착부(332)상에 상기 박판형 반도체 소재(100)가 존재하는지를 감지하여 상기 제어수단에 전달하는제4센서더포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 7] 청구항 5에 있어서,상기 소재고정수단(300)은,상기 안착부(332)에 놓인 상기 박판형 반도체 소재(100)를 뒤집는뒤집기장치더구비된것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 8] 청구항 7에 있어서,상기 뒤집기장치(350)는,상기 메인베이스(1000)에 장착된 제 1브래킷(352);상기 제 1브래킷(352)에 고정된 제 2서보모터(356);상기 제 1브래킷(352)에 회전가능하게 축지지되고, 상기 제 2서보모터(356)에 연결되어 회전되는 제 4리드스크류(357);상기 제 4리드스크류(357)에 결합되어 상기 제 4리드스크류(357)의 회전에 의해 상기 회전판(330)으로부터 멀어지거나 가까워지도록 수평이동되고, 상기 제 1브래킷(352)에 설치되는 제 1가이드레일(354)에 의해 회전이 방지되는 제 3수평이동유닛(358);상기 제 3수평이동유닛(358)상에 상방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 제어수단에 의해 동작이 제어되어 상기 회전판(330)에 놓인 상기 박판형 반도체 소재(100)를 집는 에어척(360);상기 제어수단에 의해 동작되고, 상기 에어척(360)을 상기 제 3수평이동유닛(358)상에서 상하방향으로 회동시키기 위한 회동모터(362); 및상기 제 3수평이동유닛(358)상에 설치되어 상기 에어척(360)을 회전시키는제1스텝모터포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 9] 청구항 1에 있어서,상기 소재이동수단(400)은,상기 소재적층수단(200)과 상기 소재고정수단(300)의 사이에서 메인베이스(1000)상에 횡방향으로 일정한 간격을 두고 설치된 제 1서포터(410) 및 제 2서포터(420);상기 제 1서포터(410)에 고정되고, 상기 제어수단에 의해 회전되는 제 3서보모터(412);상기 제 1서포터(410)에 회전가능하게 지지되고, 상기 제 3서보모터(412)에 연결되어 회전되는 제 5리드스크류(414);상기 제 5리드스크류(414)에 결합되어 상기 제 5리드스크류(414)의 회전에 의해 수평이동하는 제 4수평이동유닛(416);상기 제 4수평이동유닛(416)에 일단이 결합되고, 타단이 상기 제 2서포터(420)에 형성되는 제 2가이드레일(422)에 슬라이드 가능하게 결합되며, 상기 제 5리드스크류(414)의 회전에 의해 상기 소재적층수단(200) 및 상기 소재고정수단(300)의 상방으로 이동하는 프레임(430);상기 프레임(430)에 승강 가능하게 설치되고, 상기 소재적층수단(200) 및 상기 소재고정수단(300)에 놓인 상기 박판형 반도체 소재(100)의 상면을 상기 제어수단에 의해 제어되는 공압으로 흡착하는 제 1피커(440); 및상기 프레임(430)에 설치되어 상기 제어수단의 제어에 의해 상기 제 1피커(440)를 승강시키기 위한제1에어실린더포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 10] 청구항 9에 있어서,상기 제 1피커(440)는 상기 프레임(430)에 회전가능하게 한쌍이 설치되고,상기 제어수단의 제어에 의해 상기 제 1피커(440)를 회전시키기 위한 제 4서보모터(460)가상기프레임설치된것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 11] 청구항 1에 있어서,상기 영상획득수단(500)은, 메인베이스(1000) 상에 고정된 제 2브래킷(510);상기 제 2브래킷(510)에 고정되어 상기 제어수단에 의해 회전되는 제 5서보모터(520);상기 제 2브래킷(510)에 회전가능하게 축지지되고, 상기 제 5서보모터(520)에 연결되어 회전되는 제 6리드스크류(522);상기 제 6리드스크류(522)에 결합되어 상기 제 6리드스크류(522)의 회전에 의해 상기 소재고정수단(300)으로 접근하거나 이탈되는 방향으로 수평이동되고, 상기 제 2브래킷(510)에 설치되는 제 3가이드레일(512)에 의해 회전이 방지되는 제 5수평이동유닛(524);상기 제 5수평이동유닛(524)에 고정된 제 3브래킷(530);상기 제 3브래킷(530)에 고정되어 상기 제어수단에 의해 회전되는 제 6서보모터(540);상기 제 6리드스크류(522)와 수직인 방향으로 상기 제 3브래킷(530)에 회전가능하게 축지지되고, 상기 제 6서보모터(540)에 연결되어 회전되는 제 7리드스크류(542);상기 제 7리드스크류(542)에 결합되어 상기 제 7리드스크류(542)의 회전에 의해 상기 제 5수평이동유닛(524)과 직각방향으로 수평이동되고, 상기 제 3브래킷(530)에 설치되는 제 4가이드레일(532)에 의해 회전이 방지되는 제 6수평이동유닛(546);상기 제 6수평이동유닛(546)에 고정되어 상기 회전판(330)에 안착된 상기 박판형 반도체 소재(100)의 영상을 촬영하여 상기 영상판단수단(600)에 전달하는 라인스캔 카메라(550); 및상기 제 6수평이동유닛(546)에 설치되어 상기 박판형 반도체 소재(100)를 조명하기 위한조명장치포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 12] 청구항 1에 있어서,상기 소팅수단(700)은,상기 소재고정수단(300)으로부터 검사를 마치고 상기 소재이동수단(400)에 의해 이탈되는 상기 박판형 반도체 소재(100)를 이송시키는 이송장치(710);상기 영상판단수단(600)에 의해 판단된 결과 양품으로 판정된 상기 박판형 반도체 소재(100)가 적층되는 양품적층장치(750);상기 영상판단수단(600)에 의해 판단된 결과 불량품으로 판정된 상기 박판형 반도체 소재(100)가 적층되는 불량품적층장치(900);상기 영상판단수단(600)의 판단 결과에 따라 상기 이송장치(710)에 의해 이송된 상기 박판형 반도체 소재(100)를 상기 양품적층장치(750) 또는 상기 불량품적층장치(900)중 일측으로 이송시키는소재선별장치포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 13] 청구항 12에 있어서,상기 이송장치(710)는,상기 소재적층수단(200)과 상기 소재고정수단(300)의 사이에서 메인베이스(1000)상에 횡방향으로 고정된 제 4브래킷(720);상기 제 4브래킷(720)에 설치되어 상기 제어수단에 의해 정방향 및 역방향으로 제회전되는 2스텝모터(364);상기 제 4브래킷(720)에 회전가능하게 지지되고, 상기 제 2스텝모터(722)에 연결되어 회전되는 제 1풀리(724);상기 제 1풀리(724)와 일정한 간격을 두고 상기 제 4브래킷(720)에 회전가능하게 지지된 제 2풀리(726);상기 제 1풀리(724)와 상기 제 2풀리(726)에 감겨 상기 소재고정수단(300)측으로부터 상기 소팅수단(700)측으로 왕복 회전되는 제 1컨베이어벨트(728);상기 제 1컨베이어벨트(728)상에 고정되어 상기 제 4브래킷(720)에 형성되는 제 5가이드레일에 의해 수평이 방지되고, 검사를 마친 상기 박판형 반도체 소재(100)가 얹혀지는 캐리어(730); 및상기 제 4브래킷(720)의 양단부에 설치되어 상기 캐리어(730)의 이동을 감지하여 상기 제어수단에 전달하는제5센서포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 14] 청구항 12에 있어서,상기 양품적층장치(750)는,메인베이스(1000)에 고정된 제 2지지대(760);상기 제 2지지대(760)에 고정되어 상기 제어수단의 제어에 의해 회전되는 제 2정역모터(762);상기 제 2지지대(760)에 수직방향으로 회전가능하게 지지되고, 상기 제 2정역모터(762)에 의해 회전되는 한쌍의 제 8리드스크류(764);상기 제 8리드스크류(764)의 회전에 의해 승강되도록 상기 제 8리드스크류(764)에 결합되는 제 2승강유닛(766);하단이 상기 제 2승강유닛(766)에 결합되고, 상기 메인베이스(1000)의 상방으로 돌출된 제 2승강축(768);상기 제 2승강축(768)의 상단부에 결합되고, 상기 박판형 반도체 소재(100)가 적층되는 제 2적재판(770); 및상기 제 2지지대(760)에 설치되어 상기 제 2승강유닛(766)의 상승한계치와 하강한계치에 도달하는 것을 각각 감지하여 상기 제어수단에 전달하는제6센서포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 15] 청구항 14에 있어서,상기 양품적층장치(750)는,상기 제 2적재판(770)에 쌓인 상기 박판형 반도체 소재(100)의 측방향을 가이드하기 위한제2가이드장치더구비된것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 16] 청구항 15에 있어서,상기 제 2가이드장치(800)는,상기 메인베이스(1000)에 설치되어 상기 제어수단의 제어에 의해 회전되는 제 3정역모터(810);상기 메인베이스(1000)상에 회전가능하게 지지되고, 중심을 기준으로 일측에는 정방향의 나사부가 형성되고 타측에는 역방향의 나사부가 형성되며, 상기 제 3정역모터(810)에 연결되어 회전되는 제 9리드스크류(820);상기 각 제 9리드스크류(820)의 양측에 각각 결합되어 상기 제 9리드스크류(820)의 회전에 의해 수평이동되는 각 한쌍의 제 7수평이동유닛(822);상기 한쌍의 제 7수평이동유닛(822)에 의해 수평방향으로 이동하여 상기 제 2적재판(770)에 적재된 상기 박판형 반도체 소재(100)의 측방향을 가이드하는 한쌍의 제 3측방가이드(824); 및상기 양측의 제 3측방가이드(824)에 설치되어 상기 박판형 반도체 소재(100)의 적층 높이를 감지하여 상기 제어수단에 전달하는제7센서포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 17] 청구항 14에 있어서,상기 양품적층장치(750)는,상기 제 2적재판(770)에 쌓인 상기 박판형 반도체 소재(100)를 이동시키기 위한소재이동적층수단더구비된것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 18] 청구항 17에 있어서,상기 소재이동적층수단(850)은,메인베이스(1000)상에 고정된 제 5브래킷(860);상기 제 5브래킷(860)에 설치되어 상기 제어수단에 의해 정방향 및 역방향으로 회전되는 제 4정역모터(870);상기 제 5브래킷(860)에 회전가능하게 지지되고, 상기 제 4정역모터(870)에 연결되어 회전되는 제 3풀리(872);상기 제 3풀리(872)와 일정한 간격을 두고 상기 제 5브래킷(860)에 회전가능하게 지지된 제 4풀리(874);상기 제 3풀리(872) 및 상기 제 4풀리(874)에 감겨 상기 양품적층장치(750)에 적층된 상기 박판형 반도체 소재(100)를 이동시키는 제 2컨베이어벨트(876); 및상기 제 5브래킷(860)의 양단부에 설치되어 상기 제 2컨베이어벨트(876)를 놓인 상기 박판형 반도체 소재(100)를 감지하여 상기 제어수단에 전달하는제8센서포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 19] 청구항 12에 있어서,상기 불량품적층장치(900)는,상기 박판형 반도체 소재(100)가 적층되는 다수의 챔버(912)를 갖는선반이루어진것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 20] 청구항 12에 있어서,상기 불량품적층장치(900)는,상기 영상판단수단(600)에서 판단한 해당 박판형 반도체 소재(100)의 불량 정보를 출력하는프린터더구비된것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치. [청구항 21] 청구항 12에 있어서,상기 소재선별장치(950)는,메인베이스(1000) 상에 고정된 제 3서포터(960);상기 제 3서포터(960)에 설치되어 상기 제어수단의 제어에 의해 동작되는 제 2에어실린더(970);상기 제 2에어실린더(970)에 의해 상기 양품적층장치(750) 및 상기 불량품적층장치(900) 측으로 이동하고, 상기 제 3서포터(960)에 형성되는 제 6가이드레일(962)에 의해 수평을 유지하는 제 8수평이동유닛(972);상기 제 8수평이동유닛(972)에 설치되어 상기 제어수단의 제어에 의해 동작되는 제 3에어실린더(980); 및상기 제 3에어실린더(980)에에 고정되고, 상기 제어수단에 의해 상기 이송장치(710)로부터 이송된 상기 박판형 반도체 소재(100)를 흡착하여 상기 양품적층장치(750) 또는 상기 불량품적층장치(900)중 한곳으로 이동시키는제2피커포함하는것을특징으로 하는박판형 반도체 소재 검사장치.