웨이퍼의 결함 검사장치 document_id 2020030029459

[청구항 2] 청구항 1에 있어서,상기 메인서버에서 출력되는 제어신호에 따라 회전정렬수단과 포커싱수단 및 이미지처리수단을 동기화하여 각각 제어하는기기제어부더구비한것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 3] 청구항 1에 있어서,상기 이미지처리수단은, 웨이퍼에지면의 영상파일과 그 결과를 tcp/ip 프로토콜을 이용하여 소정의 통신허브를 통해 메인서버로 전송하도록구성한것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 4] 청구항 1에 있어서,상기 회전정렬수단은, 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면과 접촉되어 웨이퍼의 플랫존을 기준으로 웨이퍼를 회전시키며 정렬하는 웨이퍼회전기; 소정의 제어신호에 따라 구동되어 상기 웨이퍼회전기를 회전시키는 회전구동수단; 상기 웨이퍼회전기에 인접 설치되어 웨이퍼 정렬시 상측으로 이동하여 웨이퍼의 플랫존과 접촉되어 웨이퍼의 플랫존이 웨이퍼회전기의 상단에 위치하도록 정렬하는 플랫존정렬기; 및 상기 플랫존정렬기를 상하 이동시키는정렬구동수단이루어진것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 5] 청구항 4에 있어서,상기 웨이퍼회전기의 상단부에 이격 설치되어 웨이퍼가 웨이퍼회전기에 안착될 경우 웨이퍼를 일정 위치로 안내하는웨이퍼가이드더구비한것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 6] 청구항 1에 있어서,상기 카메라는, 회전정렬수단의 인접위치에 설치하되 카세트에 적재된 각 웨이퍼의 하단 에지면에 대향하도록 웨이퍼와 개수와 동일한 개수로 이루어져 각 웨이퍼의 에지면을 촬영하는 cmos 이미지센서; 및 상기 각 이미지센서의 전면에 설치되어 근접 촬영이 가능하도록 하는 망원렌즈;를부착조립한것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 7] 청구항 1에 있어서,상기 카메라는 각 웨이퍼의 에지 이미지를 병렬 처리하도록 각 웨이퍼에 일대일 대응하도록설치한것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 8] 청구항 1 또는 청구항 7에 있어서,상기 카메라는, 각 웨이퍼의 에지면에 대향하여 설치하되 각 웨이퍼의 에지면을 따라 지그재그로2열배치한것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 9] 청구항 1에 있어서,상기 조명수단은, lcd패널의백라이트용형광등인것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 10] 청구항 1 또는 청구항 7에 있어서,상기 조명수단은, 상기 2열로 배열된 카메라의 사이 공간과 측면에 3열로 설치하되, 상기 램프의 주변에 '∪'자형 반사판을 설치하여 웨이퍼측으로만빛조사하는것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 11] 청구항 1에 있어서,상기 포커싱수단은, 상기 다수의 카메라가 설치되어 카메라를 수평 지지하는 지지판; 상기 카메라를 상하 수직으로 이동시켜 웨이퍼에지면의 포커스를 조정하도록 하는 회전구동수단; 및 상기 회전구동수단의 회전력을 지지판로 수직 상하운동으로 변환하여 전달하는동력전달수단이루어진것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 12] 청구항 1에 있어서,상기 카메라는 수평면을 기준으로 수직이 아니라 회전정렬수단 측으로 다소 기울어진 대략 70°내지 80°의 각도를 유지하도록설치한것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 13] 청구항 1에 있어서,상기 카메라와 웨이퍼에지면의 간극은 대략 9mm 내지 11mm정도이고, 상기 조명수단과 웨이퍼에지면의 간극은 대략 6mm 내지 8mm정도설치한것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치. [청구항 14] 청구항 1에 있어서,상기 메인서버는 랜포트를 구비하여 웨이퍼 검사결과에 대한 정보를 원격 감시장치로 전송하도록구성된것을특징으로 하는웨이퍼의 결함 검사장치.