문맥 (context)
[청구항 1]
적어도 하나 이상의 피씨비 기판을 이송하기 위한 이송수단
이송된 피씨비 기판의 정전기를 제거하기 위한 정전기제거수단; 및
이송된 피씨비 기판에 부착되어 있는 분진을 제거하기 위한 분진제거수단
으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 피씨비 기판의 세정장치
[청구항 2]
제 1항에 있어서,상기 이송수단nan은다수개의링벨트포함하는것을특징으로 하는피씨비 기판의 세정장치.
[청구항 3]
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 정전기제거수단과 분진제거수단은 한 쌍으로 이루어져상기이송수단의상하각각배치되는것을특징으로 하는피씨비 기판의 세정장치.
[청구항 4]
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 분진제거수단은피씨비 기판을 소정 위치에 고정시키기기 위한 클램핑수단과,상기 위치 고정된 피씨비 기판을 향해 에어를 분사하기 위한에어분사수단으로이루어지는것을특징으로 하는피씨비 기판의 세정장치.
[청구항 5]
제 3항에 있어서,상기 클램핑수단은고정브라켓;다수개의 로드에 의해 가이드됨으로써 상기 고정브라켓에 대해 승하강하는 가동브라켓; 및상기 가동브라켓에 마련되며, 탄성부재에 의해 탄성 지지되는다수개의돌기핀포함하는것을특징으로 하는피씨비 기판의 세정장치.
[청구항 6]
제 1항에 있어서,상기 분진제거수단은 피씨비 기판으로부터 떨어져 나오는 분진을 수집하기 위한석션수단더포함하는것을특징으로 하는피씨비 기판의 세정장치.
지시문 (instruction)
주어진 본문을 읽고 관련 정보를 분석하여 질문에 답하라.
질문 (question)
피씨비 기판의 세정장치에서 분진제거수단이 구체적으로 어떠한 구성요소들로 이루어져 있는지 설명하라.
추론 과정 (compact_reasoning)
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1과제 해석
task_interpretation피씨비 기판 세정장치의 구성요소 중 '분진제거수단'을 이루는 구체적인 구성요소들을 파악해야 한다.
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2정보 추출
information_extraction청구항 4에서 분진제거수단이 클램핑수단과 에어분사수단으로 이루어진다고 명시되어 있고, 청구항 6에서 분진제거수단에 석션수단이 추가로 포함될 수 있음이 명시되어 있다.
- 분진제거수단은피씨비 기판을 소정 위치에 고정시키기기 위한 클램핑수단과,상기 위치 고정된 피씨비 기판을 향해 에어를 분사하기 위한에어분사수단으로이루어지는것을특징으로 하는피씨비 기판의 세정장치
- 분진제거수단은 피씨비 기판으로부터 떨어져 나오는 분진을 수집하기 위한석션수단더포함하는것을특징으로 하는피씨비 기판의 세정장치
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3근거 선택
evidence_selection분진제거수단의 직접적인 구성요소인 클램핑수단과 에어분사수단을 선택한다.
- 피씨비 기판을 소정 위치에 고정시키기기 위한 클램핑수단과,상기 위치 고정된 피씨비 기판을 향해 에어를 분사하기 위한에어분사수단
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4논리 통합
logical_integration청구항 6을 통해 분진제거수단에 석션수단이 추가로 포함될 수 있음을 확인한다.
- 분진제거수단은 피씨비 기판으로부터 떨어져 나오는 분진을 수집하기 위한석션수단더포함하는것을특징으로 하는피씨비 기판의 세정장치
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5결론 도출
conclusion_formulation분진제거수단은 클램핑수단, 에어분사수단, 그리고 석션수단으로 구성된다.
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6답변 생성
answer_generation질문에 따라 분진제거수단의 구성요소를 리스트 형식으로 작성한다.
최종 답변 (final_answer)
- 클램핑수단
- 에어분사수단
- 석션수단
핵심 해석 (core_interpretation)
본 발명은 피씨비 기판의 분진을 제거하기 위해 기판을 고정하는 클램핑수단, 에어를 분사하는 에어분사수단, 그리고 분진을 수집하는 석션수단을 포함하는 분진제거수단을 제공한다.