박막 광발전 장치의 처리를 위한 멀티 모듈 시스템 document_id 2020120000892

[청구항 1] 제1 높이 레벨에서 제1 말단 영역으로부터 제2 말단 영역까지의 길이를 갖도록 연장되고 수평적으로 놓인 레일 구조물 상기 제1 말단 영역에 인접한(next to) 위치들에 각각 배치되며, 처리될 복수의 기판들을 공급하고 저장할 수 있는 제1 인-라인 전송 구조물 및 처리 후 상기 복수의 기판들을 저장하고 전달할 수 있는 제2 인-라인 전송 구조물 상기 레일 구조물 양 측부들에 상기 길이를 따라 실질적으로 상기 제1 높이 레벨에 배치된 복수의 공정 모듈들 상기 레일 구조물에 결합되고 상기 레일 구조물의 상기 제1 말단 영역으로부터 상기 제2 말단 영역까지 이동하여, 상기 제1 인-라인 전송 구조물로부터 상기 복수의 기판들 중 하나 혹은 그 이상의 기판들을 로딩하고 상기 레일 구조물의 한 측부에서 상기 복수의 공정 모듈들 각각으로 언로딩하며, 처리 후 상기 복수의 공정 모듈들 각각으로부터 하나 혹은 그 이상의 기판들을 로딩하고 상기 제2 인-라인 전송 구조물로 언로딩하는 기판 로더; 및 상기 기판 로더, 상기 복수의 공정 모듈들 각각, 상기 제1 인-라인 전송 구조물 및 상기 제2 인-라인 전송 구조물 모두에 결합되고, 일정한 공정 시간 및 상기 복수의 공정 모듈들 각각의 순차적인 시작 동작을 위한 연속적인 시간 지연에 기초하여 상기 기판 로더의 로딩/언로딩 루틴을 관리하는 컨트롤러를 포함하는 박막 광발전 장치들을 제조하기 위한 멀티 모듈 시스템 [청구항 2] 제1항에 있어서,상기 복수의 공정 모듈들각각은 상기 레일 구조물을 향하는 측면 도어를 가질 수 있는챔버포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 3] 제1항에 있어서,상기 챔버는 적어도 하나의 상부 뚜껑 커버, 네 개 혹은 그 이상의 측부들 및 네 개의 지지부들 상에 압착된 공기에 의해 부유하는 바닥 베이스를 포함하는부분들구비하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 4] 제1항에 있어서,상기 챔버는 화학 기상 증착을 수행하기 위한 가스 환경을 조성하도록, 가스 공급 장치에 결합된 상기 뚜껑 커버에 결합된 가스 유입구와, 펌프 모듈에 결합된 상기 바닥 베이스를 관통하는 가스 유출구를 가질 수있는것을특징으로 하는시스템. [청구항 5] 제4항에 있어서,상기 챔버는 상기 기판 로더에 의해 상기 측면 도어 구조물을 통해 로딩되는 하나 혹은 그 이상의 기판들을 지지하기 위한 상기 바닥 베이스 상에 배치된히터를내부더포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 6] 제1항에 있어서,상기 기판 로더는 상기 레일 구조물로부터 혹은 상기 레일 구조물로 하나 혹은 그 이상의 기판들을 픽업/릴리스(release)할 수 있는로봇암포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 7] 제1항에 있어서,상기 기판 로더는 상기 제1 인-라인 래크(rack) 구조물로부터 측부 대 측부(side-by-side)로 수평적으로 한 쌍의 기판들을 로딩할 수 있고, 상기 제2 인-라인 래크 구조물로 또 다른 쌍의 기판들을 언로딩할 수있는것을특징으로 하는시스템. [청구항 8] 제7항에 있어서,쌍의 기판들각각은 65×165cm 혹은 그 이상의 직사각형 폼 팩터(form factor)를 갖는 유리 기판 상에 형성된 구리 인듐 디셀레나이드(cis)베이스 박막광발전흡수물질포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 9] 제1항에 있어서,상기 제1 인-라인 전송 구조물과 상기 제2 인-라인 전송 구조물은 상기 제1 말단 영역에서 서로 측부 대 측부로 인접하도록배치된것을특징으로 하는시스템. [청구항 10] 제1항에 있어서,상기 제1 인-라인 전송 구조물과 상기 제2 인-라인 전송 구조물은 상기 제1 말단 영역 부근에서 상기 레일 구조물의 양 측부들 상에 직접 대면하도록배치된것을특징으로 하는시스템. [청구항 11] 제1항에 있어서,상기 레일 구조물의 상기 제2 말단 영역에 인접한 위치에 배치된 유지 스테이션;상기 제1 높이 레벨보다 높은 제2 높이 레벨에서 상기 제1 인-라인 전송 구조물 및 상기 제2 인-라인 전송 구조물 각각에 결합된 인커밍 기판 전송 라인 및 아웃고잉 기판 전송 라인; 및상기 모든 복수의 공정 모듈들 상에 상기 제2 높이 레벨보다 높은 제3 높이 레벨에 배치되어 상기 복수의 공정 모듈들 중 어느 것으로부터도 상기 유지 스테이션으로 모듈 부분들을 전송하는크레인구조물더포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 12] 제11항에 있어서,상기 제1 인-라인 전송 구조물 및 상기 제2 인-라인 전송 구조물 각각은 몇 개의 기판들을 저장하여 처리를 위한 인-라인 기판 공급을 완충하는 멀티 레벨 기판 카트를 포함하는엘리베이터구조물구비하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 13] 제12항에 있어서,상기 멀티 레벨 기판 카트는 위아래로 움직여 상기 제2 높이 레벨에서 매번 상기 인커밍/아웃고잉 기판 전송 라인으로부터/라인으로 하나의 홀딩 레벨로/레벨로부터 한 쌍의 기판들을 받는/전달할 수있는것을특징으로 하는시스템. [청구항 14] 제12항에 있어서,상기 멀티 레벨 기판 카트는 위아래로 움직여 상기 제1 높이 레벨에서 상기 멀티 레벨 기판 카트의 하나의 홀딩 레벨과 상기 기판 로더 사이에 한 쌍의 기판들을 전송할 수있는것을특징으로 하는시스템. [청구항 15] 제12항에 있어서,상기 컨트롤러는 유저 인터페이스를 통해 미리 로딩되고 상기 레일 구조물 상의 상기 기판 로더, 상기 엘리베이터 구조물 상의 상기 멀티 레벨 기판 카트 및 상기 복수의 공정 모듈들 각각에 결합된 복수의 센서들을 통해 실행되는 복수의 명령들을 갖는컴퓨터포함하는것을특징으로 하는시스템. [청구항 16] 제15항에 있어서,상기 컨트롤러는 상기 복수의 공정 모듈들 각각을 위한 동작 스케줄을 설정하여 일정한 시간 지연을 가지고 순차적으로 처리를 시작하고 이에 대응하여 상기 시간 지연 내에서 상기 기판 로더가 상기 제1 인-라인 전송 구조물로부터 한 쌍의 기판들을 획득하고, 대응하는 공정 모듈에 전달하고, 또 다른 공정 모듈에서 처리된 또 다른 한 쌍의 기판들을 픽업하고, 상기 제2 인-라인 전송 구조물에 되돌려주는것을특징으로 하는시스템. [청구항 17] 제1항에 있어서,상기 시스템은 상기 인커밍 및 아웃고잉 기판 전송 라인들을 따라 두 배 및 복수 배로 될 수 있는 확장 가능한단위인것을특징으로 하는시스템. [청구항 18] 레일 구조물; 상기 레일 구조물에 인접하도록 배치되며, 처리될 하나 혹은 그 이상의 기판들을 받기 위한 인커밍 전송 라인 및 처리 후 하나 혹은 그 이상의 기판들을 전달하기 위한 아웃고잉 전송 라인에 결합될 수 있는 기판 전송 모듈 상기 레일 구조물에 결합되도록 배치된 복수의 공정 모듈들 상기 레일 구조물을 따라 이동하여, 상기 기판 전송 모듈로부터 상기 복수의 공정 모듈들 중 하나로 복수의 기판들을 전송하고, 처리 후 상기 기판들을 픽업하여 상기 기판 전송 모듈로 리턴하는 기판 로더; 및 상기 기판 로더, 상기 복수의 공정 모듈들 각각 및 상기 기판 전송 모듈에 결합되고, 일정한 공정 시간 및 상기 복수의 공정 모듈들 각각의 순차적인 동작을 위한 연속적인 시간 지연에 기초하여 상기 기판 로더의 로딩/언로딩 루틴을 관리하는 컨트롤러를 포함하는 복수의 박막 광발전 장치들을 처리하기 위한 시스템