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| 문서유형 | doc_id | 제목 | 출처 | 분야 | 문장 | 주어 | 목적어 | 관계 | |
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| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 일반적으로, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 소정의 물질들을 증착하는 공정과 이를 식각하는 공정을 포함하는 다수의 공정을 통해 형성된다. | 증착 | 반도체 소자 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 일반적으로, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 소정의 물질들을 증착하는 공정과 이를 식각하는 공정을 포함하는 다수의 공정을 통해 형성된다. | 식각 | 반도체 소자 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 챔버의 내부에는 통상적으로 웨이퍼를 고정하기 위한 수단인 척이 설치되어 있어 챔버 내부로 로딩된 웨이퍼를 지지하게 된다. | 챔버 | 웨이퍼 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 상기의 척은 웨이퍼를 고정하는 방법에 따라 기계식 척, 진공척 및 정전척등으로 구분한다. | 척 | 고정 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 상기의 척은 웨이퍼를 고정하는 방법에 따라 기계식 척, 진공척 및 정전척등으로 구분한다. | 척 | 정전척 | isToBe | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 기계식 척은 지지표면 상에 안착되는 웨이퍼를 고정하기 위한 암, 또는 클램프등의 물리적인 파지력을 가진 고정수단을 사용하는 척을 지칭한다. | 기계식 척 | 암 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 기계식 척은 지지표면 상에 안착되는 웨이퍼를 고정하기 위한 암, 또는 클램프등의 물리적인 파지력을 가진 고정수단을 사용하는 척을 지칭한다. | 기계식 척 | 클램프 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 이러한, 기계식 척은 웨이퍼에 대한 파지력이 불균일하여 웨이퍼와 척 가이에 불균등 접촉이 이루어져 웨이퍼의 변형을 야기하는 단점있다. | 기계식 척 | 웨이퍼의 변형 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 또한, 진공척은 웨이퍼와 척 사이의 공간의 압력을 챔버 내부이 압력보다 낮게 하여 웨이퍼가 파지되도록 하는 척을 지칭한다. | 진공척 | 공간의 압력 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006476 | 정전척 | 특허청 | 의약학 | 정전척은 웨이퍼와 척 내부에 설치된 전극의 전압차를 이용하여 웨이퍼를 고정, 지지하는 방법을 사용한다. | 전극의 전압차 | 정전척 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | L-카르니틴은 생물체 내에 통상적으로 존재하며, 활성화된 긴사슬 지방산을 미토콘드리아 내막을 가로질러 미토콘드리아 마트릭스로 전달하는 화합물로, 양쪽성 화합물이다. | L-카르니틴은 생물체 | 양쪽성 화합물 | isA | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | 생체내에서 L-카르니틴은 라이신 또는 단백질 중의 라이신으로부터 합성되는 것으로 알려져 있다. | 생체내에서 L-카르니틴 | 라이신 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | 포유동물에서는 일반적으로 단백질 라이신이 L-카르니틴 생합성의 전구체로서 사용되나, 뉴로스포라 크라사는 유리 라이신을 사용하는 것이 특징이다. | 포유동물 | 유리 라이신 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | L-카르니틴 생합성의 생합성 과정에서, ε-N,N,N-트리메틸라이신, ε-N,N,N-트리메틸-β-히드록시라이신, N,N,N-트리메틸아미노 부티르알데히드 중간체, 및 γ-부티로베타인이 형성된다. | L-카르니틴 생합성 | ε-N,N,N-트리메틸라이신 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | L-카르니틴 생합성의 생합성 과정에서, ε-N,N,N-트리메틸라이신, ε-N,N,N-트리메틸-β-히드록시라이신, N,N,N-트리메틸아미노 부티르알데히드 중간체, 및 γ-부티로베타인이 형성된다. | L-카르니틴 생합성 | ε-N,N,N-트리메틸-β-히드록시라이신 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | L-카르니틴 생합성의 생합성 과정에서, ε-N,N,N-트리메틸라이신, ε-N,N,N-트리메틸-β-히드록시라이신, N,N,N-트리메틸아미노 부티르알데히드 중간체, 및 γ-부티로베타인이 형성된다. | L-카르니틴 생합성 | γ-부티로베타인 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | γ-부티로베타인은 γ-부티로베타인 히드록실라제에 의하여 히드록실화되어 L-카르니틴으로 된다. | γ-부티로베타 | L-카르니틴 | isA | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | L-카르니틴은 화학 합성법, 효소 반응에 의한 반합성법, 및 미생물을 이용한 L-카르니틴의 생산에 의하여 생산될 수 있다. | L-카르니틴 | 미생물 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | L-카르니틴은 화학 합성법, 효소 반응에 의한 반합성법, 및 미생물을 이용한 L-카르니틴의 생산에 의하여 생산될 수 있다. | L-카르니틴 | 화학 합성법 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623006484 | 뉴로스포라 크라사 유래 Ｌ-카르니틴 생합성 관련유전자를 포함하는 엔테로박테리아세 속 미생물 및 이를이용한 Ｌ-카르니틴의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | L-카르니틴은 화학 합성법, 효소 반응에 의한 반합성법, 및 미생물을 이용한 L-카르니틴의 생산에 의하여 생산될 수 있다. | L-카르니틴 | 반합성법 | isCausedBy | 가공데이터 |