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문장별 주어·목적어·관계 목록 (server1). "가공데이터"를 누르면 해당 문서의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 문서유형 | doc_id | 제목 | 출처 | 분야 | 문장 | 주어 | 목적어 | 관계 | |
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| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 예를 들면, 패턴의 고밀도화와 미세화에 따른 배선재료의 저항을 감소시켜야 하는 필요성 등 때문에, 배선재료로서 알루미늄 및 알루미늄 합금이 이용되는데, 다층 배선은 전형적으로는 알루미늄 및 알루미늄 합금배선 상에 어떠한 적절한 수단으로 절연층을 형성한 후에, 더 나아가 그 윗층에 알루미늄 및 알루미늄 합금배선을 형성하게 된다. | 알루미늄 | 배선재료 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 하층의 알루미늄 및 알루미늄 합금배선은 상층의 절연층의 피복성을 향상시키기 위하여 단면(斷面)이 테이퍼 형상일 필요가 있다. | 피복성 | 테이퍼 형상 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 습식 에칭법에 있어서, 인산-질산-아세트산-물의 혼합액을 이용하여 알루미늄 및 알루미늄 합금막을 에칭하여 테이퍼 형상의 배선을 형성하는 것이 가능하다. | 습식 에칭법 | 에칭 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 습식 에칭법에 있어서, 인산-질산-아세트산-물의 혼합액을 이용하여 알루미늄 및 알루미늄 합금막을 에칭하여 테이퍼 형상의 배선을 형성하는 것이 가능하다. | 인산-질산-아세트산-물의 혼합액 | 습식 에칭법 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 액정 표시 장치나 반도체 장치와 같이 다층 배선을 필요로 하는 분야에 있어서, 다층 박막화에 대응하기 위하여, 배선의 단면(斷面)을 테이퍼(taper) 형상으로 제어하는 것이 금후의 중요한 문제가 되고 있다. | 반도체 장치 | 다층 배선 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 이들 중에서, 인산계의 에칭액이 안정하고 값이 저렴하고 또한 하층의 절연막에 대한 영향이 적으며 에칭의 제어성이 우수하기 때문에 많이 이용되고 있다. | 인산계의 에칭액 | 안정 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 액정 표시 장치나 반도체 장치와 같이 다층 배선을 필요로 하는 분야에 있어서, 다층 박막화에 대응하기 위하여, 배선의 단면(斷面)을 테이퍼 형상으로 제어하는 것이 금후의 중요한 문제가 되고 있다. | 테이퍼 형상 | 다층 박막화 | isMemberOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 예를 들면, 패턴의 고밀도화와 미세화에 따른 배선재료의 저항을 감소시켜야 하는 필요성 등 때문에, 배선재료로서 알루미늄 및 알루미늄 합금이 이용되는데, 다층 배선은 전형적으로는 알루미늄 및 알루미늄 합금배선 상에 어떠한 적절한 수단으로 절연층을 형성한 후에, 더 나아가 그 윗층에 알루미늄 및 알루미늄 합금배선을 형성하게 된다. | 알루미늄 합금 | 배선재료 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 이들 중에서, 인산계의 에칭액이 안정하고 값이 저렴하고 또한 하층의 절연막에 대한 영향이 적으며 에칭의 제어성이 우수하기 때문에 많이 이용되고 있다. | 인산계의 에칭액 | 저렴 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007611 | 금속막의 에칭액 조성물 | 특허청 | 의약학 | 이들 중에서, 인산계의 에칭액이 안정하고 값이 저렴하고 또한 하층의 절연막에 대한 영향이 적으며 에칭의 제어성이 우수하기 때문에 많이 이용되고 있다. | 인산계의 에칭액 | 제어성 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 본 발명은 액정 매질, 이의 전기광학용 용도, 및 이 매질을 함유한 디스플레이에 관한 것이다. | 액정 매질 | 전기광학 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 본 발명은 액정 매질, 이의 전기광학용 용도, 및 이 매질을 함유한 디스플레이에 관한 것이다. | 액정 매질 | 매질 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 본 발명은 액정 매질, 이의 전기광학용 용도, 및 이 매질을 함유한 디스플레이에 관한 것이다. | 액정 매질 | 디스플레이 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 액정은 주로 디스플레이 장치에서 유전체로서 사용되는데, 이는 이러한 물질의 광학적 성질이 인가된 전압에 의해 개질될 수 있기 때문이다. | 액정 | 유전체 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 액정은 주로 디스플레이 장치에서 유전체로서 사용되는데, 이는 이러한 물질의 광학적 성질이 인가된 전압에 의해 개질될 수 있기 때문이다. | 액정 | 디스플레이 장치 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 가장 일반적인 디스플레이 장치는 샤트-헬프리히(Schadt-Helfrich) 효과에 근거하고 꼬인 네마틱 구조를 갖는다. | 디스플레이 장치 | 꼬인 네마틱 구조 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 가장 일반적인 디스플레이 장치는 샤트-헬프리히 효과에 근거하고 꼬인 네마틱 구조를 갖는다. | 샤트-헬프리히 효과 | 디스플레이 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 액정 물질은 전기장 및 전자기 방사선에 대한 우수한 안정성과 우수한 화학적 열적 안정성을 가져야 한다. | 액정 물질 | 안정성 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 또한, 액정 물질은 저 점도를 가져야 하고 짧은 어드레싱 시간, 낮은 임계 전압 및 셀에서의 높은 콘트라스트를 나타내야 한다. | 액정 물질 | 저 점도 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623007637 | 액정 매질 | 특허청 | 의약학 | 또한, 액정 물질은 저 점도를 가져야 하고 짧은 어드레싱 시간, 낮은 임계 전압 및 셀에서의 높은 콘트라스트를 나타내야 한다. | 액정 물질 | 짧은 어드레싱 시간 | hasAttribute | 가공데이터 |