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문장별 주어·목적어·관계 목록 (server1). "가공데이터"를 누르면 해당 문서의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 문서유형 | doc_id | 제목 | 출처 | 분야 | 문장 | 주어 | 목적어 | 관계 | |
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| 특허 | A220623010121 | 반도체 소자의 게이트 전극 형성방법 | 특허청 | 의약학 | 이어서, 하드 마스크 상에 반사방지막으로 SiON막을 증착한다. | 하드 마스크 | SiON막 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 본 발명은 나노자성체의 주기적 배열구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 정보저장소자 또는 미소자기장 생성 및 검출소자 등에 적용가능한 나노자성체의 주기적 배열구조를 효과적으로 제조하기 위한 방법 및 이에 사용될 수 있는 전자리소그래피방법에 관한 것이다. | 나노자성체의 주기적 배열구조 | 전자리소그래피방법 | isMemberOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 이와 같이, 나노자성체의 배열구조는 개별 나노자성체의 자화제어를 통해 자기정보저장 단위이나 국부적으로 불균일한 자기력을 발생시키고 검출할 수 있는 매우 독특한 특성을 얻을 수 있다. | 나노자성체의 배열구조 | 자화제어 | isMemberOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 이와 같이, 나노자성체의 배열구조는 개별 나노자성체의 자화제어를 통해 자기정보저장 단위이나 국부적으로 불균일한 자기력을 발생시키고 검출할 수 있는 매우 독특한 특성을 얻을 수 있다. | 나노자성체의 배열구조 | 불균일한 자기력 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 이런 특성을 이용하기 위해서,상기 나노자성체 어레이는 2차원적인 주기적 배열구조로 제조되어야 하며, 나노자성체의 크기가 작을수록 보다 우수한 성능을 기대할 수 있다. | 나노자성체 어레이 | 2차원적인 주기적 배열 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 이러한 나노 리소그래피공정으로는 대표적으로 다양한 크기와 형상의 나노자성체를 쉽게 패터닝할 수 있는 전자빔 리소그래피공정이 고려될 수 있다. | 나노 리소그래피공정 | 나노자성체 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 이러한 나노 리소그래피공정으로는 대표적으로 다양한 크기와 형상의 나노자성체를 쉽게 패터닝할 수 있는 전자빔 리소그래피공정이 고려될 수 있다. | 나노 리소그래피공정 | 전자빔 리소그래피공정 | isToBe | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 종래의 전자빔 리소그래피공정에 사용되는 전자빔 감광제은 분해능을 높이기 위해서 분자크기가 상대적으로 작은 PMMA 또는 ZEP520A 등을 사용한다. | 전자빔 리소그래피공정 | PMMA | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 종래의 전자빔 리소그래피공정에 사용되는 전자빔 감광제은 분해능을 높이기 위해서 분자크기가 상대적으로 작은 PMMA 또는 ZEP520A 등을 사용한다. | 전자빔 리소그래피공정 | ZEP520A | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010126 | 나노자성체의 2차원 배열구조 제조방법 | 특허청 | 전기전자 | 이러한 고분자 감광제는 전자빔 민감도가 높아 전자빔 가속전압을 높이는데 제한이 있다. | 고분자 감광제 | 전자빔 가속전압 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | 본 발명은 BN을 함유하는 중합체계 화합물의 형성을 포함하는 분야에 사용하기 위한 질화붕소 조성물에 관한 것이다. | BN을 함유 | 중합체계 화합물 | isMemberOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | 본 발명은 BN을 함유하는 중합체계 화합물의 형성을 포함하는 분야에 사용하기 위한 질화붕소 조성물에 관한 것이다. | BN을 함유 | 질화붕소 조성물 | isMemberOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | 질화붕소, 즉 BN은 다양한 결정 구조를 갖고 연마제부터 윤활제까지 다양한 용도를 갖는다. | 질화붕소 | 연마제 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | 질화붕소, 즉 BN은 다양한 결정 구조를 갖고 연마제부터 윤활제까지 다양한 용도를 갖는다. | 질화붕소 | 윤활제 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | 육각형 질화붕소는 매우 바람직한 형태이고, 흑연과 비슷한 육각형 층구조를 갖는 백색 조성물이다. | 육각형 질화붕소 | 육각형 층구조 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | 육각형 질화붕소는 매우 바람직한 형태이고, 흑연과 비슷한 육각형 층구조를 갖는 백색 조성물이다. | 육각형 질화붕소 | 백색 조성물 | isMemberOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | hBN은 그의 특성 때문에 열전도, 전기 절연, 내식성 및 윤활성을 요구하는 분야에서 사용되고 플라스틱 첨가제로서도 사용된다고 알려져 있다. | hBN | 열전도 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | hBN은 그의 특성 때문에 열전도, 전기 절연, 내식성 및 윤활성을 요구하는 분야에서 사용되고 플라스틱 첨가제로서도 사용된다고 알려져 있다. | hBN | 전기 절연 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | hBN은 그의 특성 때문에 열전도, 전기 절연, 내식성 및 윤활성을 요구하는 분야에서 사용되고 플라스틱 첨가제로서도 사용된다고 알려져 있다. | hBN | 내식성 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623010127 | 강화된 질화붕소 조성물 및 그에 의해 제조된 중합체계조성물 | 특허청 | 의약학 | hBN은 그의 특성 때문에 열전도, 전기 절연, 내식성 및 윤활성을 요구하는 분야에서 사용되고 플라스틱 첨가제로서도 사용된다고 알려져 있다. | hBN | 윤활성 | hasAttribute | 가공데이터 |