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| 문서유형 | doc_id | 제목 | 출처 | 분야 | 문장 | 주어 | 목적어 | 관계 | |
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| 특허 | A220623023255 | 화학 기계적 연마 패드 | 특허청 | 기계공학 | 예를 들어, 반도체 생산은 전형적으로 다수의 화학 기계적 평탄화 공정을 포함한다. | 화학 기계적 평탄화 공정 | 반도체 생산 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023255 | 화학 기계적 연마 패드 | 특허청 | 기계공학 | 각 CMP 공정에서, 연마제-함유 연마 슬러리 또는 무-연마제 반응성 액체와 같은 연마 용액과 조합된 연마 패드는 후속 층의 수용을 위해 평탄화하거나 또는 평탄도를 유지하는 방식으로 잉여 물질을 제거한다. | 연마제-함유 연마 슬러리 | 연마 용액 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023255 | 화학 기계적 연마 패드 | 특허청 | 기계공학 | 각 CMP 공정에서, 연마제-함유 연마 슬러리 또는 무-연마제 반응성 액체와 같은 연마 용액과 조합된 연마 패드는 후속 층의 수용을 위해 평탄화하거나 또는 평탄도를 유지하는 방식으로 잉여 물질을 제거한다. | 무-연마제 반응성 액체 | 연마 용액 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023255 | 화학 기계적 연마 패드 | 특허청 | 기계공학 | 전통적으로, 주조 폴리우레탄 연마 패드는 집적 회로 제조에 사용되는 대부분의 연마 작업에 기계적 집적성 및 화학적 내성을 제공하였다. | 폴리우레탄 연마 패드 | 기계적 집적성 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023255 | 화학 기계적 연마 패드 | 특허청 | 기계공학 | 전통적으로, 주조 폴리우레탄 연마 패드는 집적 회로 제조에 사용되는 대부분의 연마 작업에 기계적 집적성 및 화학적 내성을 제공하였다. | 폴리우레탄 연마 패드 | 화학적 내성 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 일반적으로, 차량용 공조장치는 외부 또는 내부의 공기의 온도를 낮추거나 또는 높여 사용자가 설정한 온도에 맞도록 조절하고, 이를 사용자에게 토출하도록 이루어진다. | 차량용 공조장치 | 설정한 온도 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 그리고, 차량용 공조장치로부터 토출되는 공기를 건강에 유익한 공기로 변환시키기 위하여, 공기를 정화할 수 있는 별도의 공기정화장치를 구비하고 있는 실정이며, 이러한 공기정화장치는 공기 중에 함유되어 있는 VOCs(휘발성 유기 물질), 박테리아, 바이러스 및 신종 전자파 등의 각종 유해 물질 및 악취 물질들을 제거함으로써 공기를 정화하여 실내로 보다 신선한 공기를 제공한다. | 공기정화장치 | 차량용 공조장치 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 그리고, 차량용 공조장치로부터 토출되는 공기를 건강에 유익한 공기로 변환시키기 위하여, 공기를 정화할 수 있는 별도의 공기정화장치를 구비하고 있는 실정이며, 이러한 공기정화장치는 공기 중에 함유되어 있는 VOCs(휘발성 유기 물질), 박테리아, 바이러스 및 신종 전자파 등의 각종 유해 물질 및 악취 물질들을 제거함으로써 공기를 정화하여 실내로 보다 신선한 공기를 제공한다. | 신선한 공기 | 공기정화장치 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 이와 같이, 차량 실내의 먼지, 분진, 악취 등을 제거하고, 공기를 정화하기 위하여 그 내부에 필터가 구비되어 있는 공기정화장치가 제안되었으나, 필터만으로 상술한 바와 같은 역할을 담당하기에는 어려운 문제점이 있었다. | 필터 | 공기정화장치 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 이와 같이, 차량 실내의 먼지, 분진, 악취 등을 제거하고, 공기를 정화하기 위하여 그 내부에 필터가 구비되어 있는 공기정화장치가 제안되었으나, 필터만으로 상술한 바와 같은 역할을 담당하기에는 어려운 문제점이 있었다. | 필터 | 정화 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 한편, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 코로나 방전 방식, 전자 방사 방식, 수파쇄 방식 및 플라즈마 방식 등 전기 집진 방식을 이용하는 공기정화장치가 제안되었다. | 코로나 방전 방식 | 공기정화장치 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 한편, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 코로나 방전 방식, 전자 방사 방식, 수파쇄 방식 및 플라즈마 방식 등 전기 집진 방식을 이용하는 공기정화장치가 제안되었다. | 전자 방사 방식 | 공기정화장치 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 한편, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 코로나 방전 방식, 전자 방사 방식, 수파쇄 방식 및 플라즈마 방식 등 전기 집진 방식을 이용하는 공기정화장치가 제안되었다. | 수파쇄 방식 | 공기정화장치 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 한편, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 코로나 방전 방식, 전자 방사 방식, 수파쇄 방식 및 플라즈마 방식 등 전기 집진 방식을 이용하는 공기정화장치가 제안되었다. | 플라즈마 방식 | 공기정화장치 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 한편, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 코로나 방전 방식, 전자 방사 방식, 수파쇄 방식 및 플라즈마 방식 등 전기 집진 방식을 이용하는 공기정화장치가 제안되었다. | 전기 집진 방식 | 공기정화장치 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 상술한 코로나 방전 방식의 경우 방전 전극과 접지 전극 사이에 매우 높은 전압을 인가하여 양 전극 사이에 코로나 방전을 발생시켜 두 전극 사이에 있는 산소와 같은 공기 분자를 음이온화시켜 공기를 정화하는 방식이다. | 코로나 방전 방식 | 코로나 방전 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 또한, 수파쇄 방식은 소위 레너드 효과(Lenard Effect), 즉 물이 높은 곳에서 아래쪽으로 떨어지면서 수면 또는 바위 등에 부딪힐 때 그 주위의 공기에 미약한 음(-) 전기를 띄는 음이온을 발생시키고, 물방울이 스스로 양(+) 전기를 띄는 현상을 이용하여 음이온을 생성시켜 공기를 정화하는 방식이다. | 수파쇄 방식 | 레너드 효과 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 그리고, 전자 방사 방식은 양(+) 전극을 설치하지 않고, 침상의 도체를 음(-) 전극화한 후 이 음(-) 전극에 고전압을 가하여 공기 중에 직접 전자를 방출하는 방식으로서 방출된 전자가 산소 또는 수분과 결합하여 음이온을 생성하여 공기를 정화하는 방식이다. | 전자 방사 방식 | 방출된 전자 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 더불어, 플라즈마 방식은 공기가 플라즈마 상태로 변할 때 공기 분자로부터 전자가 유리되는 현상을 이용하여 음이온을 생성시킴으로써 공기를 정화하는 방식이다. | 플라즈마 방식 | 플라즈마 상태 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623023277 | 음이온 및 양이온 발생장치를 구비한 자동차용 공조장치 | 특허청 | 기계공학 | 여기서 음이온이란 (-)전기를 띤 것을 음이온(마이너스 이온)이라 하며, 공기 중에 탄산가스, 산소, 질소, 수소 등과 같은 다수의 혼합물과 함께 존재하며, 인체의 신진대사를 활발하게 하고, 피로회복을 촉진시키며, 생체작용에 뛰어난 효과가 있다. | 음이온 | 생체작용 | hasAttribute | 가공데이터 |