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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019990014020 | 1 | 4 | <ANY>상기 서셉터와 베이스 사이에 위치되고, 외부로부터 공급되는 가스가 상기 서셉터의 하부의 중심으로 유입되도록 하는</ANY> <COMPONENT>미디엄</COMPONENT><RELATION_3>을 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP><PATENT_ITEM>화학 기상 증착장치의 하부 전극부</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014021 | 1 | 1 | <PATENT_ITEM>화학 기상 증착장치의 하부 전극부</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014021 | 1 | 2 | <ANY>반도체 웨이퍼가 상부</ANY><RELATION_424>에 놓이는</RELATION_424> <COMPONENT>서셉터와</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014021 | 1 | 3 | <ANY>상기 서셉터의 하부에서 상기 서셉터</ANY><RELATION_344>를 지지하기 위한</RELATION_344> <COMPONENT>베이스</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014021 | 1 | 4 | <ANY>상기 서셉터와 베이스 사이에 위치되고, 상기 서셉터</ANY><RELATION_786>를 가열하기 위한</RELATION_786> <COMPONENT>히터</COMPONENT> 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014021 | 1 | 5 | <ANY>상기 베이스의 측면으로부터 상기 히터와 상기 베이스로 유도되어 출구가 상기 히터를 통하여 상기 서셉터 하부의 중심으로 위치되도록 형성되고, 상기 외부로부터 공급되는 가스가 상기 서셉터의 하부의 중심으로 유입되도록 하는</ANY> <COMPONENT>가스 공급 라인</COMPONENT><RELATION_3>을 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>화학 기상 증착장치의 하부 전극부</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 4 | 1 | <ANY>입력 패드와 입력버퍼 사이에 형성되는 esd 보호소자의 레이아웃</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 4 | 2 | <ANY>반도체기판에서 esd영역으로 예정되는 부분</ANY><RELATION_217>을 정의하는</RELATION_217> <COMPONENT>웰가드링과</COMPONENT>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 4 | 3 | <ANY>상기 웰가드링의 내부</ANY><RELATION_16371>에 소정 거리 이격되어 형성되는</RELATION_16371> <COMPONENT>웰픽업영역</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 4 | 4 | <ANY>상기 웰픽업영역 내부의 중심부</ANY><RELATION_4>에 형성되는</RELATION_4> <COMPONENT>fpd의 게이트 및 cdm용 트랜지스터의 게이트</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 4 | 5 | <ANY>상기 fpd의 게이트와 cdm용 트랜지스터의 게이트의 사이</ANY><RELATION_4>에 형성되는</RELATION_4> <COMPONENT>드레인영역</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 4 | 6 | <ANY>상기 fpd의 게이트 및 cdm용 트랜지스터의 게이트 타측</ANY><RELATION_4>에 형성되는</RELATION_4> <COMPONENT>소오스영역</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 4 | 7 | <ANY>상기 소오스영역과 소정 거리 이격되어 형성되는</ANY> <COMPONENT>cdm용 트랜지스터의 게이트 보호용 다이오드</COMPONENT>와<RELATION_4>로 형성되는</RELATION_4> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>esd보호소자의 레이아웃</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 1 | 1 | <ANY>입력패드와 전원단 및 접지단</ANY><RELATION_1466>에 연결되어 형성되는</RELATION_1466> <COMPONENT>1차 <PATENT_ITEM>esd보호소자</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 1 | 2 | <ANY>상기 입력패드와 입력버퍼 사이</ANY><RELATION_1466>에 연결되어 형성되는</RELATION_1466> <COMPONENT>저항</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 1 | 3 | <ANY>상기 저항과 접지단 사이에 연결되어 형성되는 2차 esd보호소자가 구비되는</ANY> <COMPONENT>esd보호소자</COMPONENT><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014154 | 1 | 4 | <ANY>상기 제2차 esd보호소자와 입력버퍼 사이에 상기 입력패드와 입력버퍼를 전기적으로 절연시키는</ANY> <COMPONENT>cdm용 트랜지스터</COMPONENT><RELATION_61>가 구비되는</RELATION_61> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>esd보호소자</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014279 | 1 | 1 | <ANY>넥크부의 내주면에 장착되고, 형광막 스크린을 향하여 세줄기의 전자빔을 방출하는 음극선관용 전자총</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014279 | 1 | 2 | <ANY>상기 전자총은 열전자</ANY><RELATION_185>를 방출하는</RELATION_185> <COMPONENT>캐소드</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990014279 | 1 | 3 | <ANY>열전자의 방출</ANY><RELATION_16>을 제어하는</RELATION_16> <COMPONENT>제 1 및 제 2그리드 전극</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |