원천데이터
한국어 지식관계 원천데이터
문장별 주어·목적어·관계 목록 (server1). "가공데이터"를 누르면 해당 문서의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 문서유형 | doc_id | 제목 | 출처 | 분야 | 문장 | 주어 | 목적어 | 관계 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | 이러한 프로세스에서, 재료의 원자층 각각의 증착은 전구체의 예비-증착층에 의해 제어된다. | 증착 | 예비-증착층 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | CVD처럼, ALD 또한 화학제 및 반응기 챔버내의 상승된 온도에 따라 좌우된다. | ALD | 온도 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | 이들 프로세스를 위해 요구되는 열을 형성하기 위해서, 반응기 챔버는 반응 표면상에 균일한 온도를 보증하는 가열을 요구한다. | 챔버 | 가열 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | 그러나 가열 엘리먼트에 전력을 제공하고 온도를 모니터하기 위해, 전기적 접속기 및 열전쌍은 챔버의 열악한 환경으로 루팅되어야 한다. | 열전쌍 | 루팅 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | 챔버내의 과도한 열 및 화학제의 부식성 및 반응성 때문에, 전력 접속기 및 열전쌍이 악화되어 시간이 지남에 따라 고장이 날 수 있다. | 부식성 | 고장 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | 이러한 고장들은 반응기에서, 중지 시간, 제품 손상, 및 소정의 경우, 반응기의 다른 부재의 손상을 야기시킬 수 있다. | 고장 | 손상 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | Chen 등의 미국 특허 번호 6,066,836호에 개시된 방안은, 챔버내에서 완전히 밀봉된 지지 샤프트의 내부 부분을 통해 전기 접속기 및 열전쌍을 제공하는 것이다. | 지지 샤프트 | 전기 접속기 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | 그러나 이러한 장치는 제조 및 유지에 있어 많은 비용이 수반된다. | 비용 | 제조 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012217 | ＡＬＤ/ＣＶＤ 반응기용의 정화된 히터-서셉터 | 특허청 | 의약학 | 복잡한 설계에 부가하여 밀폐형 밀봉부를 유지하기 위해, 샤프트는 프로세스 동안 열팽창을 고려하도록 플렉시블한 결합으로 장착되어야 한다. | 샤프트 | 플렉시블한 결합 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 전형적인 바람직한 측정치는 타이어 마모, 내부 온도 및 내부 압력이다. | 측정치 | 타이어 마모 | isA | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 전형적인 바람직한 측정치는 타이어 마모, 내부 온도 및 내부 압력이다. | 측정치 | 내부 온도 | isA | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 전형적인 바람직한 측정치는 타이어 마모, 내부 온도 및 내부 압력이다. | 측정치 | 내부 압력 | isA | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 한가지 공지된 유형의 모니터링 장치는 타이어의 본체내에 매설된 수동적 집적 회로를 사용하며, 이는 유도 자기 결합에 의해 회로를 여기시키는 라디오 주파수 전송에 의해 활성화된다. | 집적 회로 | 모니터링 장치 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 한가지 공지된 유형의 모니터링 장치는 타이어의 본체내에 매설된 수동적 집적 회로를 사용하며, 이는 유도 자기 결합에 의해 회로를 여기시키는 라디오 주파수 전송에 의해 활성화된다. | 모니터링 장치 | 라디오 주파수 전송 | no-Relation | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 타이어 상태를 감시하기 위해 사용되는 다른 종래 기술 장치는 밸브 스템 같은 타이어의 외부에 위치되는 자체-동력식 회로를 포함한다. | 자체-동력식 회로 | 종래 기술 장치 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 민감한 전자 모니터링 장치를 보호하는 한가지 방법은 경화 에폭시 또는 플라스틱 같은 비교적 강성적인 재료내에 장치를 캡슐화하는 것이다. | 방법 | 캡슐화 | isA | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 캡슐화 재료는 서로에 관하여 적소에 전자 모니터링 장치의 요소를 유지하며, 타이어 힘을 받게 될 때, 전자 모니터링 장치가 찢어져 나가는 것을 방지한다. | 캡슐화 재료 | 전자 모니터링 장치 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 캡슐화 재료는 서로에 관하여 적소에 전자 모니터링 장치의 요소를 유지하며, 타이어 힘을 받게 될 때, 전자 모니터링 장치가 찢어져 나가는 것을 방지한다. | 캡슐화 재료 | 모니터링 장치 | no-Relation | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 모니터링 장치를 캡슐화하는 것의 문제점은 모니터링 장치는 압력 센서가 타이어의 내부 압력을 감지할 수 있도록 타이어의 내부 공동과 유체 연통하는 상태로 남아 있어야만 하는 압력 센서를 포함하는 것이 바람직하다는 사실이다. | 압력 센서 | 모니터링 장치 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623012218 | 모니터링 장치를 캡슐화하기 위한 방법 및 장치 | 특허청 | 기계공학 | 전자 모니터링 장치를 캡슐화할 때 겪는 다른 문제점은 모니터링 장치가 바람직하게는 단일 단계에서 전체적으로 캡슐화되어야 한다는 것이다. | 전자 모니터링 장치 | 캡슐화 | isToBe | 가공데이터 |