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| 문서유형 | doc_id | 제목 | 출처 | 분야 | 문장 | 주어 | 목적어 | 관계 | |
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| 특허 | A220623019012 | 노광 마스크 및 그것을 이용한 반도체 장치 제조 방법 | 특허청 | 의약학 | 도 13a는 노광 마스트에 대한 개략적인 횡단부를 도시하고, 도 13b는 노광 마스크를 이용하는 노광 및 현상이 얻어지는 포토레지스트 층의 횡단부 포토그래프이다. | 노광 마스크 | 포토레지스트 층 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019012 | 노광 마스크 및 그것을 이용한 반도체 장치 제조 방법 | 특허청 | 의약학 | 라인과 공간의 각각이 도 13a에 도시된 해상도 보다 작은 노광 장치를 이용하는 경우에도, 작고 균일한 두께의 영역을 갖는 포토레시스트 층이 형성될 수 있는 경우가 있다. | 포토레시스트 층 | 노광 장치 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019012 | 노광 마스크 및 그것을 이용한 반도체 장치 제조 방법 | 특허청 | 의약학 | 각 라인이 1.0 ㎛의 폭을 갖고, 각 공간이 0.5 ㎛의 폭을 갖는 도 13a의 노광 마스크의 영역에서, 포토레지스트 층이 작은 두께로 형성되지 않고, 큰 두께, 거의 차광부와 동일한 두께로 형성된다. | 라인 | 차광부 | isToBe | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019012 | 노광 마스크 및 그것을 이용한 반도체 장치 제조 방법 | 특허청 | 의약학 | 그러나, 고해상도의 노광 장치를 사용하는 경우에, 라인 및 공간의 각각이 해상도 보다 작게 형성되는 경우에도 포토레지스트 층이 작은 두께로 형성될 수 없는 경우 또는 포토레지스트 층이 작은 두께로 형성될 수 있는 경우에도 균일한 두께로 형성될 수 없는 경우가 존재한다. | 고해상도 | 균일한 두께 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019013 | Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | 일본공개특허 64-021340호 및 64-077924는 소위 측벽기술에 의해 실리콘 기판 위에 다결정 Si 핀 구조체를 형성하는 기술에 개시되어 있다. | 측벽기술 | 다결정 Si 핀 구조체 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019013 | Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | 이들 종래 방법의 공통적 단점은 선 폭이 좁을수록 핀 구조체의 균일성가 떨어지고 그리고 제조비용이 비싸다는 점이다. | 핀 구조체 | 선 폭 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019013 | Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | 핀 트랜지스터는 100nm 이하의 디자인 룰에 적합하며, 특히 저전력, 고효율 및 고속도의 소자로서 연구되고 있다. | 핀 트랜지스터 | 저전력 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019013 | Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | 트랜지스터의 완전한 디플리션을 얻기 위해 20nm 이하의 극단적으로 좁은 선 폭의 활성영역이 요구된다. | 트랜지스터 | 활성영역 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019013 | Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | 따라서 이러한 조건에 부응하는 핀 트랜지스터를 얻기 위해서는 활성영역인 핀 구조체의 제조가 매우 중요하다. | 핀 트랜지스터 | 핀 구조체 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019013 | Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 | 특허청 | 의약학 | 종래에는 핀 구조체 형성시 상기와 같은 측벽 기술 외에 자외선 리소그래피, 전자빔 리소그래피 등에 의해 형성된다. | 핀 구조체 | 전자빔 리소그래피 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 또한, 약제 처리된 경엽에서의 황화 및 괴사가 싸이할로포프보다는 빠르지만, 약제 처리 반응이 비교적 빠른 편에 속하는 페녹사프로프에틸보다는 상대적으로 늦다. | 페녹사프로프에틸 | 약제 처리 | isToBe | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 더욱이, 메티미포프의 합성 과정은 싸이할로포프에 비해 약간 복잡하기 때문에 화합물 생산단가가 싸이할로포프보다 상대적으로 높다. | 메티미포프 | 싸이할로포프 | isMemberOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 그러나 일단 흡수된 화합물은 대사가 비교적 완만하게 진행되며 이행이 서서히 일어나기 때문에 피의 재생정도가 낮고, 5 내지 6엽의 늦은 엽기 처리에서도 방제력을 유지하는 특성을 갖는다. | 화합물 | 방제력 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 이러한 특성을 가진 메타미포프는 대한민국 공개특허 제2003-0071215호에 그 제초활성이 이미 기술되어 있는 바와 같이 피, 바랭이 등 화본과 잡초에 선택적 방제효과를 가지며, 특히 지효성 방제 특성으로 인하여 벼농사에서 마땅한 제초제가 없는 피의 후기 경엽 처리제로서 유망하게 가능성이 검토되고 있다. | 메타미포프 | 경엽 처리제 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 또한, 대부분의 화합물은 단일제형으로 사용할 경우 어독성 Ⅱ 급류에 속하기 때문에 일반적으로 보다 낮은 처리량이 요구된다. | 화합물 | 처리량 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 이들 아릴옥시페녹시프로피오네이트 계열에 속하는 화합물은 주로 경엽처리 효과가 강하며, 환경조건 또는 화합물 종류에 따라 차이가 있지만 대략 처리 후 5 내지 6일이 지나면 제초효과가 나타나기 시작하고 약 10일 이후가 되면 잡초가 죽게되는 지효성 방제효과를 가지는 것으로 알려져 있다 . | 아릴옥시페녹시프로피오네이트 | 지효성 방제효과 | hasAttribute | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 또한 제초활성물질의 혼합시 제초효과가 단제 처리시와 변화가 없는 경우를 "상가작용"이라고 한다. | 상가작용 | 제초효과 | isCausedBy | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 제초제들 중에는 지방산 생합성 과정에서 아세틸-CoA 카르복실라아제를 저해하여 화본과 잡초만을 선택적으로 죽이고 광엽작물에 대해서는 매우 안전한 화합물 계열이 있는데, 아릴옥시페녹시프로피오네이트 계열과 싸이클로헥산다이온 계열이 이에 속한다. | 싸이클로헥산다이온 계열 | 제초제 | isPartOf | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 즉, 아릴옥시페녹시프로피오네이트 계열에 속하는 화합물은 광엽작물 및 화본과 작물에 모두 사용 가능한데, 그 중에서 페녹사프로프에틸은 밀에, 싸이할로포프부틸은 벼에도 사용 가능하다. | 페녹사프로프에틸 | 밀 | isUsedFor | 가공데이터 |
| 특허 | A220623019015 | 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 | 특허청 | 의약학 | 즉, 아릴옥시페녹시프로피오네이트 계열에 속하는 화합물은 광엽작물 및 화본과 작물에 모두 사용 가능한데, 그 중에서 페녹사프로프에틸은 밀에, 싸이할로포프부틸은 벼에도 사용 가능하다. | 싸이할로포프부틸 | 벼 | isUsedFor | 가공데이터 |