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문서유형doc_id제목출처분야문장 주어목적어관계
특허 A220623019012 노광 마스크 및 그것을 이용한 반도체 장치 제조 방법 특허청 의약학 도 13a는 노광 마스트에 대한 개략적인 횡단부를 도시하고, 도 13b는 노광 마스크를 이용하는 노광 및 현상이 얻어지는 포토레지스트 층의 횡단부 포토그래프이다. 노광 마스크 포토레지스트 층 isUsedFor 가공데이터
특허 A220623019012 노광 마스크 및 그것을 이용한 반도체 장치 제조 방법 특허청 의약학 라인과 공간의 각각이 도 13a에 도시된 해상도 보다 작은 노광 장치를 이용하는 경우에도, 작고 균일한 두께의 영역을 갖는 포토레시스트 층이 형성될 수 있는 경우가 있다. 포토레시스트 층 노광 장치 isCausedBy 가공데이터
특허 A220623019012 노광 마스크 및 그것을 이용한 반도체 장치 제조 방법 특허청 의약학 각 라인이 1.0 ㎛의 폭을 갖고, 각 공간이 0.5 ㎛의 폭을 갖는 도 13a의 노광 마스크의 영역에서, 포토레지스트 층이 작은 두께로 형성되지 않고, 큰 두께, 거의 차광부와 동일한 두께로 형성된다. 라인 차광부 isToBe 가공데이터
특허 A220623019012 노광 마스크 및 그것을 이용한 반도체 장치 제조 방법 특허청 의약학 그러나, 고해상도의 노광 장치를 사용하는 경우에, 라인 및 공간의 각각이 해상도 보다 작게 형성되는 경우에도 포토레지스트 층이 작은 두께로 형성될 수 없는 경우 또는 포토레지스트 층이 작은 두께로 형성될 수 있는 경우에도 균일한 두께로 형성될 수 없는 경우가 존재한다. 고해상도 균일한 두께 isCausedBy 가공데이터
특허 A220623019013 Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 특허청 의약학 일본공개특허 64-021340호 및 64-077924는 소위 측벽기술에 의해 실리콘 기판 위에 다결정 Si 핀 구조체를 형성하는 기술에 개시되어 있다. 측벽기술 다결정 Si 핀 구조체 isUsedFor 가공데이터
특허 A220623019013 Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 특허청 의약학 이들 종래 방법의 공통적 단점은 선 폭이 좁을수록 핀 구조체의 균일성가 떨어지고 그리고 제조비용이 비싸다는 점이다. 핀 구조체 선 폭 isCausedBy 가공데이터
특허 A220623019013 Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 특허청 의약학 핀 트랜지스터는 100nm 이하의 디자인 룰에 적합하며, 특히 저전력, 고효율 및 고속도의 소자로서 연구되고 있다. 핀 트랜지스터 저전력 hasAttribute 가공데이터
특허 A220623019013 Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 특허청 의약학 트랜지스터의 완전한 디플리션을 얻기 위해 20nm 이하의 극단적으로 좁은 선 폭의 활성영역이 요구된다. 트랜지스터 활성영역 hasAttribute 가공데이터
특허 A220623019013 Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 특허청 의약학 따라서 이러한 조건에 부응하는 핀 트랜지스터를 얻기 위해서는 활성영역인 핀 구조체의 제조가 매우 중요하다. 핀 트랜지스터 핀 구조체 isUsedFor 가공데이터
특허 A220623019013 Fin 구조체 및 이를 이용한 핀 트랜지스터의 제조방법 특허청 의약학 종래에는 핀 구조체 형성시 상기와 같은 측벽 기술 외에 자외선 리소그래피, 전자빔 리소그래피 등에 의해 형성된다. 핀 구조체 전자빔 리소그래피 isUsedFor 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 또한, 약제 처리된 경엽에서의 황화 및 괴사가 싸이할로포프보다는 빠르지만, 약제 처리 반응이 비교적 빠른 편에 속하는 페녹사프로프에틸보다는 상대적으로 늦다. 페녹사프로프에틸 약제 처리 isToBe 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 더욱이, 메티미포프의 합성 과정은 싸이할로포프에 비해 약간 복잡하기 때문에 화합물 생산단가가 싸이할로포프보다 상대적으로 높다. 메티미포프 싸이할로포프 isMemberOf 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 그러나 일단 흡수된 화합물은 대사가 비교적 완만하게 진행되며 이행이 서서히 일어나기 때문에 피의 재생정도가 낮고, 5 내지 6엽의 늦은 엽기 처리에서도 방제력을 유지하는 특성을 갖는다. 화합물 방제력 hasAttribute 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 이러한 특성을 가진 메타미포프는 대한민국 공개특허 제2003-0071215호에 그 제초활성이 이미 기술되어 있는 바와 같이 피, 바랭이 등 화본과 잡초에 선택적 방제효과를 가지며, 특히 지효성 방제 특성으로 인하여 벼농사에서 마땅한 제초제가 없는 피의 후기 경엽 처리제로서 유망하게 가능성이 검토되고 있다. 메타미포프 경엽 처리제 isUsedFor 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 또한, 대부분의 화합물은 단일제형으로 사용할 경우 어독성 Ⅱ 급류에 속하기 때문에 일반적으로 보다 낮은 처리량이 요구된다. 화합물 처리량 hasAttribute 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 이들 아릴옥시페녹시프로피오네이트 계열에 속하는 화합물은 주로 경엽처리 효과가 강하며, 환경조건 또는 화합물 종류에 따라 차이가 있지만 대략 처리 후 5 내지 6일이 지나면 제초효과가 나타나기 시작하고 약 10일 이후가 되면 잡초가 죽게되는 지효성 방제효과를 가지는 것으로 알려져 있다 . 아릴옥시페녹시프로피오네이트 지효성 방제효과 hasAttribute 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 또한 제초활성물질의 혼합시 제초효과가 단제 처리시와 변화가 없는 경우를 "상가작용"이라고 한다. 상가작용 제초효과 isCausedBy 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 제초제들 중에는 지방산 생합성 과정에서 아세틸-CoA 카르복실라아제를 저해하여 화본과 잡초만을 선택적으로 죽이고 광엽작물에 대해서는 매우 안전한 화합물 계열이 있는데, 아릴옥시페녹시프로피오네이트 계열과 싸이클로헥산다이온 계열이 이에 속한다. 싸이클로헥산다이온 계열 제초제 isPartOf 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 즉, 아릴옥시페녹시프로피오네이트 계열에 속하는 화합물은 광엽작물 및 화본과 작물에 모두 사용 가능한데, 그 중에서 페녹사프로프에틸은 밀에, 싸이할로포프부틸은 벼에도 사용 가능하다. 페녹사프로프에틸 밀 isUsedFor 가공데이터
특허 A220623019015 메타미포프(Metamifop)를 유효성분으로 함유하는 상승적 작용성을 지닌 제초제 조성물 특허청 의약학 즉, 아릴옥시페녹시프로피오네이트 계열에 속하는 화합물은 광엽작물 및 화본과 작물에 모두 사용 가능한데, 그 중에서 페녹사프로프에틸은 밀에, 싸이할로포프부틸은 벼에도 사용 가능하다. 싸이할로포프부틸 벼 isUsedFor 가공데이터
15561–15580번째 행