원시데이터
특허 지식베이스 원시데이터
청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019900001379 | 7 | 4 | <ANY>및 냉각 공기를 상기 플리넘 챔버의 상기 일단부 근처로 도입시키고, 가열된 공기를 상기 내측 동축 공기층의 말단부에 배출시키는 공기 냉각 수단으로서, 냉각 공기가, 상기 일단부에서 상기 장치안으로 흐르고, 축선상으로 상기 내측 및 외측 동축 냉각 공기층을 따라서 그리고 방사상안쪽으로 상기 가열기를 통해 상기 외측 동축 냉각 공기층으로부터 상기 내측 동축 냉각 공기층쪽으로 흐르며, 상기 내측 동축</ANY> <COMPONENT>냉각 공기층의 말단부에서 상기 장치의 바깥</COMPONENT><RELATION_4407>으로 흐르게 하는</RELATION_4407> 공기 냉각 수단의 조합<RELATION_SEP>으로 구성된</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>에피택셜 증착장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001379 | 10 | 1 | <ANY>서셉터에 지지된 반도체 기판을 포함하며, 열적으로 활성화된 반응 가스들을 그내부에 한정시키는 반응실로서, 일정한 파장이 있는 영역내에서 대체로 열복사에 투명한 재료로 제조된 적어도 하나의 벽부분</ANY><RELATION_15>을 가지는</RELATION_15> <COMPONENT>반응실</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001379 | 10 | 2 | <ANY>상기 기판 및 상기 서셉터를 가열하도록 상기 일정한 파장 영역에 열복사를 공급하며, 상기 반응실과의 사이에 내측 동축 냉각 공기층을 형성하도록 상기 반응실에서 떨어져 대체로 상기 반응실 둘레에 동축상으로 분포되어있는 복사 가열기로서, 그 내부에 복사 냉각 공기 유동을 허용하도록 방사상으로 공기를 투과할 수 있게 되어있으며, 복사 가열기 뱅크</ANY><RELATION_3>를 포함하는</RELATION_3> <COMPONENT>복사가열기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001379 | 10 | 3 | <ANY>상기 기판 및 상기 서셉터를 가열시키기 위해서 상기 복사 가열기 뱅크가 상기 벽부분을 통해서 열복사를 방사하는 예정된 고정 작동 위치에서, 상기 복사가열기 뱅크를 지지하고, 상기 가열기 뱅크가 그 한 가장자리에 대량 평행하게 놓인 피봇측을 중심으로하여 상기 고정 작동위치에서 떨어져 회전되는 개방위치에서, 상기 가열기 뱅크</ANY><RELATION_46>를 지지하는</RELATION_46> <COMPONENT>지지수단</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001379 | 10 | 4 | <ANY>상기 가열기와의 사이에 외측 동측 냉각 공기층을 형성하기 위해서 상기 복사 가열기에서 떨어져서 그 둘레로 대략 동축상으로 뻗으며, 상기 복사 가열기의 일단부에서 떨어져서 대략 횡방향으로 상기 복사 가열기를 가로지르며 뻗어서, 상기 내측 동축 냉각 공기층과 상기 외측 동축 냉각 공기층을 상기 일단부에서 방사상으로 서로 연결하는 단부 동측 냉각 공기층</ANY><RELATION_20>을 형성하는</RELATION_20> <COMPONENT>플리넘 챔버</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001379 | 10 | 5 | <ANY>및 냉각 공기를 상기 플리넘 챔버의 상기 일단부 근처로 도입시키고, 가열된 공기를 상기 내측 동축 공기층의 말단부에 배출시키는 공기 냉각 수단으로서, 냉각 공기가, 상기 일단부에서 상기 장치안으로 흐르고, 축선상으로 상기 내측 및 외측 동축 냉각 공기층을 따라서 그리고 방사상 안쪽으로 상기 가열기를 통해서 상기 외측 동축 냉각 공기층으로부터 상기 내측 동축 냉각 공기층쪽으로 흐르며, 상기 내측 동축</ANY> <COMPONENT>냉각 공기층의 말단부에서 상기 장치의 바깥</COMPONENT><RELATION_4407>으로 흐르게 하는</RELATION_4407> 공기 냉각 수단의 조합<RELATION_SEP>으로 구성된</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>에피택셜 증착 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001379 | 1 | 1 | <ANY>서셉터에 지지된 반도체 기판을 포함하며, 열적으로 활성화된 반응가스들을 그 내부에 한정시키는 반응실로서, 일정한 파장이 있는 영역내에서 대체로 열복사에 투명한 재료로 제조된 적어도 하나의 벽부분</ANY><RELATION_15>을 가지는</RELATION_15> <COMPONENT>반응실</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001379 | 1 | 2 | <ANY>상기 기판 및 상기 서셉터를 가열하도록 상기 일정한 파장영역에 열복사</ANY><RELATION_22>를 공급하는</RELATION_22> <COMPONENT>복사 가열기 뱅크</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001379 | 1 | 3 | <ANY>및 상기 기판 및 상기 서셉터를 가열시키기 위해서 상기 복사 가열기 뱅크가 상기 벽 부분을 통해서 열 복사를 방사하는 예정된 고정 작동 위치에서, 상기 복사 가열기 뱅크를 지지하고, 상기 가열기 뱅크가 그 한 가장자리에 대략 평행하게 놓인 피봇축을 중심으로 하여 상기 고정 작동 위치에서 떨어져 회전되는</ANY> <COMPONENT>개방위치에서, 상기 가열기 뱅크</COMPONENT><RELATION_46>를 지지하는</RELATION_46> 지지수단의 조합<RELATION_SEP>으로 구성된</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>에피택셜 증착 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900001733 | 14 | 1 | <ANY>각각의 트윈 비임 리셉터클 단자(54)는 자회로판(66)의 모서리에서 프린트 도체(68)에 전기도체 관계로 고정된</ANY> <COMPONENT>커넥터(64)</COMPONENT><RELATION_5>를 갖는</RELATION_5> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>핀 리셉터클 커넥터(2)와 연합된 제13항에서 청구된 커넥터</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002320 | 33 | 1 | <ANY>제1의 물질로써 이루어진 원자 혹은 분자의 입자류를 발생하는 제1의 입자류발생수단, 제2의 물질로써 이루어진 원자 혹은 분자의 입자류를 상기 제1의 입자류발생 수단으로부터의 입자류와 교차하도록 발생하는 제2의 입자류 발생수단, 이 제2의 입자류 발생수단의 입자류</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002320 | 33 | 2 | <ANY>제1의 입자류 발생수단의 입자류와의 교차 영역으로부터 상류의 적어도</ANY> <COMPONENT>일부의 영역에 하전입자</COMPONENT><RELATION_214>를 조사하는</RELATION_214> 하전 입자류 발생수단, 상기 제1 및 제2의 입자류 발생수단으로부터의 입자류의 적어도 일부의 영역에 상기 제1 또는 제2의 물질<RELATION_SEP>로써 이루어진</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>원자 혹은 분자를 고여기상태에 여기하는 레이저광을 조사하는 레이저발생수단, 상기 제1 및 제2의 입자류 발생수단으로부터의 입자류가 교차하는 영역의 근방 혹은 상기 레이저광의 조사영역의 근방에 전장을 인가하여 특정의 이온을 인출하기위한 전장인가수단을 구비한 이온류생성장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002624 | 15 | 1 | <ANY>부분응답 포맷에서 수신된 정보의 버스트를 수신하여 부분응답 포맷의 연속 정보로 변환하고 상기 연속 정보</ANY><RELATION_34>를 전송하는</RELATION_34> <COMPONENT>헤드엔드 장치(314)</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002624 | 15 | 2 | <ANY>상기 헤드엔드 장치(314)</ANY><RELATION_12>에 연결된</RELATION_12> <COMPONENT>제1광대역 통신매체(312u)</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002624 | 15 | 3 | <ANY>상기 헤드엔드 장치(314)</ANY><RELATION_12>에 연결된</RELATION_12> <COMPONENT>제2광대역 통신매체(312d)</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002624 | 15 | 4 | <ANY>상기 헤드엔드 장치(314)를 거쳐 신호를 상류로 전송하기 위하여 상기 제1광대역 통신매체(312u)에 연결된 변조기 수단(364) 및 상기 헤드엔드 장치 (314)로부터 신호를 하류로 수신하기 위하여 상기 제2광대역 통신매체(312d)에 연결된 복조기 수단(372)을 각각 구비하는데, 상기 변조기 수단 각각이 정보의 버스트를 오프셋 직교위상 편이 키이(opsk) 포맷으로 통신하는 수단(376)을 포함하고 상기 복조기 수다(372) 각각이 연속정보를 상기 am-psk포맷으로 통신하는 수단(376)을 포함하는</ANY> <COMPONENT>복수의 노드장치(316, 318)</COMPONENT><RELATION_3>를 포함한</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>통신시스템</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002624 | 23 | 1 | <ANY>소오스노드(316)로부터 목표노드(318)로 정보를 전송하는 통신 시스쳄(310)</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002624 | 23 | 2 | <COMPONENT>헤드엔드(314)</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002624 | 23 | 3 | <ANY>소오스 통로의 각 노드(316)에 연결되어 상기 헤드엔드(314)로 정보</ANY><RELATION_402397>를 전송하는 동일하지</RELATION_402397> <COMPONENT>않은 전송매체(312u)</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019900002624 | 23 | 4 | <ANY>상기 헤드엔드(314)로부터 시작되고 상기 각각의 목표노드(318)</ANY><RELATION_402396>에 연결된 동일하지</RELATION_402396> <COMPONENT>않은 수신메체(312d)</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |