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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019980035400 | 1 | 3 | <ANY>상기 트랜스퍼챔버</ANY><RELATION_45935>와 인접하게 설치된</RELATION_45935> <COMPONENT>스퍼터링챔버</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980035400 | 1 | 4 | <ANY>상기 트랜스퍼챔버</ANY><RELATION_45935>와 인접하게 설치된</RELATION_45935> <COMPONENT>rtp챔버</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980035400 | 1 | 5 | <ANY>상기 트랜스퍼챔버 내부에 설치되며, 상기 웨이퍼</ANY><RELATION_654>를 이송시키는</RELATION_654> <COMPONENT>웨이퍼이송용 로봇아암</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980035400 | 1 | 6 | <RELATION_377>을 구비하여 이루어지는</RELATION_377> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>반도체장치 제조용 스퍼터링설비</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036280 | 1 | 1 | <ANY>웨이퍼가 내입된 튜브내의 온도에 따라 튜브를 감싸고 있는 다수개의 램프세기를 조절하는</ANY> <PATENT_ITEM>확산설비의 확산로 공정온도조절장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036280 | 1 | 2 | <ANY>다수개의 영역으로 분할된 웨이퍼 하부영역에 설치되어 각 영역의 온도</ANY><RELATION_51>를 측정하는</RELATION_51> <COMPONENT>복수개의 온도감지수단</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036280 | 1 | 3 | <ANY>상기 각 영역의 온도값을 분석하여 이를 조절하기 위한 보상제어값</ANY><RELATION_9>을 생성하는</RELATION_9> <COMPONENT>제어수단</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036280 | 1 | 4 | <ANY>상기 보상제어값에 의해 램프의 세기</ANY><RELATION_426655>를 그룹별로 조절하는</RELATION_426655> <COMPONENT>램프구동수단</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036280 | 1 | 5 | <RELATION_8>을 구비하여</RELATION_8> 이루어짐<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>확산설비의 확산로 공정온도조절장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 1 | 1 | <ANY>외부 모터에의 전원 인가여부를 제어하는 모터제어장치</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 1 | 2 | <ANY>상기 모터 기동을 위해 최초 입력되는 전원을, 정상 모터운전전압에 도달할 때까지 소정 시간동안 점진적으로 증가시켜 상기 외부 모터</ANY><RELATION_372>에 인가하는</RELATION_372> <COMPONENT>무접점 구동수단</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 1 | 3 | <ANY>상기 정상 운전전압 도달 후, 상기 무접점 구동수단을 개방상태로 전환시키고, 개방시의 전압</ANY><RELATION_426712>을 상기 외부 모터에 인가시키는</RELATION_426712> <COMPONENT>접점 구동수단</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 1 | 4 | <ANY>상기 개방상태 전환시부터, 계속하여 입력되는 전압의 정상입력 여부에 따라 상기 접점 구동수단에 의한</ANY> <COMPONENT>외부 모터에의 전원 인가여부</COMPONENT><RELATION_26>를 결정하는</RELATION_26> 제어수단<RELATION_SEP>을 포함하여 구성되는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>무접점 소자를 이용한 디지탈 모터 콘트롤 센터 유니트</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 11 | 1 | <ANY>외부 모터에의 전원 인가여부를 제어하는 모터제어장치</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 11 | 2 | <ANY>입력되는 전원의 과전류 여부 및 그 지속시간</ANY><RELATION_78051>을 검출확인하는</RELATION_78051> <COMPONENT>전류검출부</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 11 | 3 | <ANY>상기 소정 지속시간 동안의 과전류 검출 확인 결과에 따라, 개방상태에서 동작상태</ANY><RELATION_535>로 전환하는</RELATION_535> <COMPONENT>무접점 구동수단</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 11 | 4 | <ANY>상기 무접점 구동수단의 동작상태 전환여부에 따라, 동작상태에서 개방상태</ANY><RELATION_118503>로 재전환하는</RELATION_118503> <COMPONENT>접점 구동수단</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980036367 | 11 | 5 | <ANY>상기 접점 구동수단의 개방상태 재전환시, 상기 무접점 구동수단을 개방상태로 재전환시켜 상기 외부</ANY> <COMPONENT>모터에의 전원차단이 소정 시간 동안 점진적</COMPONENT><RELATION_6923>으로 이루어지도록 하는</RELATION_6923> 제어수단<RELATION_SEP>을 포함하여 구성되는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>무접점 소자를 이용한 디지탈 모터 콘트롤 센터 유니트</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980038261 | 1 | 1 | <ANY>전원과 부하 사이에 회로차단용 주회로부와 이 주회로부의 접점 투입버튼을 가지는 기계조작반을 탑재하여 그 전원과 부하사이에 주회로부를 연결하는 운전위치와 주회로부를 분리하는 시험위치로 이송될 수 있게 하는 이송조작축을 가지는 이송대차 그리고 부하를 접지할 수 있는 접지스위치와 이를 조작할 수 있는 접지조작축을 구비하여 되는</ANY> <PATENT_ITEM>배전반용 진공차단기의 접지스위치 연동장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019980038261 | 1 | 2 | <ANY>진공차단기 본체에 상기한 접지조작축의 단부를 별도의 공구를 연결조작할 수 있게 노출시키는 접지조작홀이 형성되어 있고, 그 접지조작홀의 적어도 일부를 개폐하도록 조작되는 셔터와, 이 셔터와 연동하여 회전될 수 있게 지지된 연동축, 그리고 연동축의 회전을 상기한 이송대차가 시험위치에 놓인 경우에 허용하고 그 외의 위치에서는 저지하는</ANY> <COMPONENT>연동방지수단</COMPONENT><RELATION_61>이 구비된</RELATION_61> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>배전반용 진공차단기의 접지스위치 연동장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |