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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019860009567 | 7 | 1 | <ANY>피처리기판의 표면에 포토레지스트를 도포하는 장치</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 2 | <ANY>(ⅰ) 상기 기판</ANY><RELATION_1441>을 반송하기 위한</RELATION_1441> <COMPONENT>반송 장치</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 3 | <ANY>(ⅱ) 상기 기판에 대해서 밀착강화제</ANY><RELATION_115>를 공급하기 위한</RELATION_115> <COMPONENT>밀착강화제 공급장치</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 4 | <ANY>(ⅲ) 상기 밀착강화제 공급장치의 후단</ANY><RELATION_1252>에 배설된</RELATION_1252> <COMPONENT>추가 가열장치</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 5 | <ANY>(ⅳ) 상기 추가 가열장치의 후단에 배치되어진, 기판을 상온까지 냉각하는 냉각장치와, (ⅴ) 또한 상기 냉각장치의 후단에 배치되어진, 기판표면에 대해서 포토레지스트를 공급하는 포토레지스트 공급장치를 갖으며, 상기 밀착강화제 공급장치는 기판의 주위</ANY><RELATION_225050>를 위요하는</RELATION_225050> <COMPONENT>처리 챕버와</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 6 | <ANY>상기 처리 챔버에 밀착강화제</ANY><RELATION_115>를 공급하기 위한</RELATION_115> <COMPONENT>공급용 배관</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 7 | <ANY>상기 처리 챔버내에서 기판에 대해서 대향으로 배설되어진, 복수의 소공</ANY><RELATION_15>을 가진</RELATION_15> <COMPONENT>정루판과</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 8 | <ANY>상기 처리 챔버의 주위</ANY><RELATION_1252>에 배설된</RELATION_1252> <COMPONENT>보조챔버</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 9 | <COMPONENT>상기 보조챔버에 접속되어진 배기용 배관</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 10 | <ANY>기판을 가열하기 위한 가열장치로 구성되며, 상기 추가가열장치는 기판의 주위</ANY><RELATION_225050>를 위요하는</RELATION_225050> <COMPONENT>챔버</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 11 | <COMPONENT>상기 챔버에 접속되어진 배기용 배관</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009567 | 7 | 12 | <ANY>기판</ANY><RELATION_625249>을 추가 가열하기 위한 추가</RELATION_625249> 가열장치로 구성되어진 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>포토레지스트의 도포장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009593 | 20 | 1 | <ANY>다수의 ic가 리이드 프레임을 통하여 결합되어 있는 시이트로부터 ic를 절단하고 그다음 ic 리이드단자를 절곡하는</ANY> <PATENT_ITEM>ic 시이트 처리장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009593 | 20 | 2 | <ANY>(a)일련의 프레스절단 동작을 실행하는 다수 형태의 프레스 모울드와 상기 ic 시이트를 한단계씩 공급하는 ic 시이트 공급기구가 공통 다이 세트상에 개별적으로 그리고 분리가능하게 장착되어 일련의 프레스 절단동작을 실행하는 단일프레스 모울드 장치를 구성하여 ic를 분리하는 한편 상기 ic 시이트</ANY><RELATION_399625>를 한단계씩</RELATION_399625> <COMPONENT>공급하는 ic 시이트 절단 프레스</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009593 | 20 | 3 | <ANY>(b)상기 ic 시이트절단 프레스에 의하여 분리된 ic의 패키지로부터 연장된 리이드 단자를 절곡시키는</ANY> <COMPONENT>ic 절곡 프레스</COMPONENT><RELATION_27>로 구성되는</RELATION_27> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>ic 시이트 처리장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009593 | 38 | 1 | <ANY>다수의 ic가 리이드 프레임을 을 통해 결합되고 그 후 ic의 리이드 단자</ANY><RELATION_399628>를 절곡하는데 있어서</RELATION_399628>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009593 | 38 | 2 | <ANY>(a)일련의 프레스절단 동작을 수행하기 위한 다수의 프레스 모울드형 및 상기 ic 시이트를 단계적으로 공급하기 위한 ic 시이트 공급기구가 단일 프레스 모울드 장치를 구성하도록 공통다이 세트위에 개별적이고 분리가능하도록 고정되어 상기 ic 시이트가 단계적으로 공급되는 동안 ic를 분리시키는 일련의 프레스절단동작</ANY><RELATION_18>을 수행하는</RELATION_18> <COMPONENT>ic 시이트 절단프레스</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009593 | 38 | 3 | <ANY>(b)다수의 ic 시이트를 저장하여 상기 ic 시이트 절단 프레스에 하나씩 ic 시이트</ANY><RELATION_28164>를 연속적으로 공급하기 위한</RELATION_28164> <COMPONENT>ic 시이트 공급수단</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009593 | 38 | 4 | <ANY>(c)상기 ic 시이트 절단 프레스에 의해 분리된 ic의 패키지로부터 뻗어있는 리이드단자</ANY><RELATION_87851>를 절곡하기 위한</RELATION_87851> <COMPONENT>ic 리이드 절곡프레스</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019860009593 | 38 | 5 | <ANY>(d)상기 ic 리이드 절곡 프레스로부터 공급된 ic를 저장하기 위한</ANY> <COMPONENT>ic 저장수단</COMPONENT><RELATION_27>으로 구성되는</RELATION_27> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>ic 시이트로부터 ic를 절단하기 위한 ic 시이트 처리장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |