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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019990038602 | 1 | 5 | <ANY>상기 히터 상부에 위치되고 상기 챔버에 고정되며 내측부에 홈</ANY><RELATION_13>이 형성된</RELATION_13> <COMPONENT>원판 형태의 외곽 링</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990038602 | 1 | 6 | <ANY>상기 외곽 링에 형성된 홈에 가장자리부가 안착되며 내측부에 홈</ANY><RELATION_13>이 형성된</RELATION_13> <COMPONENT>중간 링</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990038602 | 1 | 7 | <ANY>상기 중간 링에 형성된 홈에 가장자리부가 안착되며 상기 히터로부터 발생된 열</ANY><RELATION_434449>이 전달되도록 구성된</RELATION_434449> <COMPONENT>서셉터와</COMPONENT>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990038602 | 1 | 8 | <ANY>상기 서셉터상에 설치되며 중앙부에 웨이퍼</ANY><RELATION_175>가 장착되는</RELATION_175> <COMPONENT>포커스 링</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990038602 | 1 | 9 | <ANY>상기 포커스 링의 외측부</ANY><RELATION_29>에 설치된</RELATION_29> <COMPONENT>제 1 덮개</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990038602 | 1 | 10 | <ANY>상기 제 1 덮개의 외측부에 설치되는</ANY> <COMPONENT>제 2 덮개</COMPONENT><RELATION_60>를 포함하여 이루어지는</RELATION_60> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>반도체 소자 제조용 공정 챔버</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 1 | <ANY>디스크의 표면으로부터 기록되어 있는 정보를 판독하기 위한 장치</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 2 | <ANY>상기 표면에 방사선</ANY><RELATION_115>을 공급하기 위한</RELATION_115> <COMPONENT>수단,</COMPONENT> 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 3 | <ANY>상기 공급 수단에 의해 공급되어 상기 디스크에 의해 변형되는 방사선</ANY><RELATION_357>을 감지하기 위한</RELATION_357> <COMPONENT>광전 다이오드</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 4 | <RELATION_1>를 포함하되</RELATION_1>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 5 | <COMPONENT>상기 광전 다이오드</COMPONENT>는 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 6 | <COMPONENT>제1 유형의 반도체 재료의 제1 영역</COMPONENT>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 7 | <ANY>상기 제1 영역과 pn 접합</ANY><RELATION_20>을 형성하는</RELATION_20> <COMPONENT>제2 유형의 반도체 재료의 제2 영역,</COMPONENT> 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 8 | <ANY>상기 접합 양단에 역바이어스 전압을 인가하기 위한</ANY> <COMPONENT>수단</COMPONENT><RELATION_1>을 포함하며</RELATION_1>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 28 | 9 | <ANY>상기 제1 영역은 약 5 내지 15㎛ 범위의 공간 만큼 이격되는</ANY> <COMPONENT>적어도 두 부분</COMPONENT><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>광전 다이오드</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 1 | 1 | <ANY>표면상에 감광 영역</ANY><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5> <COMPONENT>반도체 기판</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 1 | 2 | <ANY>상기 기판의 전표면상에 배치되고 실리콘 질화물의 제1 층 및 상기 제1 층과 접촉하는 제2 유전체 층</ANY><RELATION_3>을 포함하는</RELATION_3> <COMPONENT>반사-방지 필터</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 1 | 3 | <RELATION_3>를 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>광검출기</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 33 | 1 | <ANY>광 신호를 전기 신호로 변환하기 위한</ANY> <PATENT_ITEM>장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990039975 | 33 | 2 | <ANY>상기 표면에 광</ANY><RELATION_115>을 공급하기 위한</RELATION_115> <COMPONENT>수단,</COMPONENT> 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |