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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019997004124 | 72 | 2 | <ANY>용기 내부의 원자들과 통하고 있으며 용기 내의 원자들의 이온화</ANY><RELATION_433074>를 초래하고 플라즈마를 창출하는</RELATION_433074> <COMPONENT>에너지발생기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 72 | 3 | <ANY>용기 내부에 배치된 것으로, 양의 전압소스 도는 전기접지에 연결가능한 전도성전극부재</ANY><RELATION_6>를 구비한</RELATION_6> <COMPONENT>전극조립품</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 72 | 4 | <ANY>용기개구에 인접하게 배치된 것으로, 제 1그리드부재가 플라즈마와 접촉하고 있으며 부동전위로 유지되거나 상기 전극조립품에 전기적으로 연결가능하며, 제 2그리드가 음의 전압소스 또는 전기적인 접지에 연결되고, 제 3바깥쪽그리드는 전기적인 접지에 연결되어 있는, 복수개 개구들을 갖는 세 개의 전도성그리드부재들</ANY><RELATION_6>을 구비한</RELATION_6> <COMPONENT>이온광학기조립품</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 72 | 5 | <ANY>제 1기간부분 동안, 상기 양의 전위가 상기 전극에 공급되며, 상기 음의 전위가 상기 제 2그리드에 공급되고 상기 접지전위가 상기 제 3그리드에 공급되고, 제 2기간부분동안, 상기 전극, 제 2 및 제 3그리드들에 접지전위가 공급되도록, 제 1 및 제 2부분들을 갖는 한 기간의 시간에 걸쳐, 상기 전위들을 상기 전극, 제 2 및 제</ANY> <COMPONENT>3그리드들</COMPONENT><RELATION_144>에 공급하는</RELATION_144> 수단<RELATION_SEP>을 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>이온빔소스</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 57 | 1 | <ANY>내부를 규정하여 플라즈마를 담는 것으로, 용기의 내부와 통하고 있으며 원자들의 소스에 연결가능한 입구, 및 자신을 통해 이온빔이 방전가능한 개구</ANY><RELATION_6>를 구비한</RELATION_6> <COMPONENT>용기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 57 | 2 | <ANY>용기 내부의 원자들과 통하고 있으며 용기 내의 원자들의 이온화</ANY><RELATION_433074>를 초래하고 플라즈마를 창출하는</RELATION_433074> <COMPONENT>에너지발생기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 57 | 3 | <ANY>용기의 내부에 배치된 것으로 양 또는 음의 전압소스에 연결가능한 전도성 전극부재</ANY><RELATION_6>를 구비한</RELATION_6> <COMPONENT>전극조립품</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 57 | 4 | <ANY>용기개구에 인접하게 배치되고, 자신을 통해 이온빔이 방전가능한 복수개 개구들을 담고있으며 플라즈마이온들을 용기로부터 가속하는 동시에 용기 내부에 자유전자들을 유지시키는 적어도 하나의 판부재</ANY><RELATION_3>를 포함한</RELATION_3> <COMPONENT>이온광기학조립품</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 57 | 5 | <ANY>제 1부분 및 제 2부분을 갖는 기간의 제 1부분 동안에 전극에 인가되어진 전위는 약 10 및 약 2000v 사이가 되며, 이 기간의 제 2부분 동안에 전극에 인가되어진 전위는 이온광학기조립품의 상기 판부재에 연결가능한 음의 전위인, 한 기간에 걸쳐</ANY> <COMPONENT>전극에 펄스전압</COMPONENT><RELATION_22>을 공급하는</RELATION_22> 수단<RELATION_SEP>을 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>이온빔소스</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 1 | 1 | <ANY>플라즈마를 담기 위해 내부를 규정하는 용기로서, 이 용기의 내부와 통해있고 원자들의 소스와 연결가능한 입구, 및 하전입자빔이 자신을 통하여 방전가능한 개구</ANY><RELATION_6>를 구비한</RELATION_6> <COMPONENT>용기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 1 | 2 | <ANY>용기 내부의 원자들과 통해있고 용기내 원자들의 이온화</ANY><RELATION_433074>를 초래하고 플라즈마를 창출하는</RELATION_433074> <COMPONENT>에너지발생기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 1 | 3 | <ANY>용기의 내부에 배치되어, 전압소스와 연결가능한 전도성전극부재를 구비하고, 플라즈마로부터의 침전물들이 전극 위에 형성됨을 금지시키기 위하여 플라즈마 및 불휘발성 플라즈마산물의 직접 충돌로부터 차폐되는 부분들</ANY><RELATION_6>을 구비한</RELATION_6>, <COMPONENT>전극조립품</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 1 | 4 | <ANY>용기개구에 인접하게 배치되어 전극과 동일한 극성을 갖는 플라즈마발생된(plasma-generated) 하전입자들을 용기로부터 가속시키며</ANY> <COMPONENT>용기 내부의 반대 극성의 하전입자들</COMPONENT><RELATION_652>을 유지시키는</RELATION_652> 이온광학기조립품<RELATION_SEP>을 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>하전입자원</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 20 | 1 | <ANY>플라즈마를 담기 위해 내부를 규정하는 용기로서, 이 용기의 내부와 통하고 있고 원자들의 소스와 연결가능한 입구, 및 하전입자빔이 자신을 통하여 방전가능한 개구</ANY><RELATION_6>를 구비한</RELATION_6> <COMPONENT>용기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 20 | 2 | <ANY>용기 내부의 원자들과 통하고 있고 용기 내 원자들의 이온화</ANY><RELATION_433074>를 초래하고 플라즈마를 창출하는</RELATION_433074> <COMPONENT>에너지발생기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 20 | 3 | <ANY>용기의 내부에 배치되고, 전도성전극부재, 상기 지지부재와 연계되는 트레이부재, 상기 트레이부재 속에 배치된 전도성액체를 구비하고, 상기 액체는 표면영역과 상기 전도성액체 및 전압소스 사이를 연결가능한 도선</ANY><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5>, <COMPONENT>전극조립품</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 20 | 4 | <ANY>용기개구에 인접하게 배치되어 전극과 동일한 극성을 갖는 플라즈마로 발생된 하전입자들을 용기로부터 가속시키는</ANY> <COMPONENT>동시에 용기 내부의 반대 극성의 하전입자들</COMPONENT><RELATION_652>을 유지시키는</RELATION_652> 이온광학기조립품<RELATION_SEP>을 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>하전입자원</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 31 | 1 | <ANY>플라즈마를 담기 위해 내부를 규정하는 용기로서, 이 용기의 내부와 통하고 있고 원자들의 소스와 연결가능한 입구, 및 하전입자빔이 자신을 통하여 방전가능한 개구</ANY><RELATION_6>를 구비한</RELATION_6> <COMPONENT>용기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 31 | 2 | <ANY>용기 내부의 원자들과 통하고 있고 용기 내의 원자들의 이온화</ANY><RELATION_433074>를 초래하고 플라즈마를 창출하는</RELATION_433074> <COMPONENT>에너지발생기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997004124 | 31 | 3 | <ANY>용기의 내부에 배치된 것으로, 활동적인 표면을 갖는 전도성판과 상기 전도성판 및 전압소스 간을 연결가능한 도선을 포함하고, 상기 전극을 부분적으로 덮는 차폐부재 및 상기 전극에 대해 상기 차폐를 움직여 상기 전극의 활동적인 표면의 부가적인 부분들을 플라즈마에 노출시키는 수단</ANY><RELATION_2527>을 추가로 구비한</RELATION_2527>, <COMPONENT>전극조립품</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |