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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1020000034763 | 1 | 1 | <ANY>높은 포지티브 레일(more positive rail)(v)</ANY><RELATION_32>에 결합되는</RELATION_32> <COMPONENT>제 1 및 제 2 전류원(i1, i2)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000034763 | 1 | 2 | <ANY>각각의 입력 트랜지스터가 전류원과 낮은 포지티브 레일(less positive rail) 사이에서 결합되고, 전류원(i1, i2)에 결합된 제 1 단자들과, 차동 입력 전압신호를 수신하는 제 2 단자들(v in+ , v in- )</ANY><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5> <COMPONENT>제 1 및 제 2 입력 트랜지스터(t1, t2)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000034763 | 1 | 3 | <ANY>각각의 제 1 및 제 2 트랜지스터(t1, t2)의 각각의 제 3 단자들 사이</ANY><RELATION_32>에 결합된</RELATION_32> <COMPONENT>임피던스(r1)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000034763 | 1 | 4 | <ANY>제 1 및 제 2 트랜지스터(t1, t2)의 각각의 제 3 단자들에 결합된 각각의 제 1 단자, 낮은 포지티브 레일에 결합된 각각의 제 2 단자들, 각각의 제 1 및 제 2 트랜지스터의 제 1 단자에 결합된 피드백 회로에 결합된 각각의 제 3 단자</ANY><RELATION_5>를 갖는</RELATION_5> <COMPONENT>제 3 및 제 4 트랜지스터(t3, t4)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000034763 | 1 | 5 | <ANY>제 3 및 제 4 트랜지스터(t3, t4)의 제 3 단자에 결합된 각각의 단자를 갖고, 각각의 제 1 및 제 2 전류 미러 트랜지스터가 트랜스컨덕터 증폭기(22)의 출력이 제공되는 다른 단자(i out- , i out+ )</ANY><RELATION_30513>를 또한 갖는</RELATION_30513> <COMPONENT>제 1, 제 2 전류 미러 트랜지스터(t5, t6)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000034763 | 1 | 6 | <ANY>제 1 로우 패스 필터(f1)는 제 3 트랜지스터의 제 3 단자와 제 1 전류 미러 트랜지스터 사이에서 결합되고, 제 2 로우 패스 필터는 제 4 트랜지스터의 제 3 단자와 제</ANY> <COMPONENT>2 전류 미러 트랜지스터 사이</COMPONENT><RELATION_32>에서 결합된</RELATION_32> 제 1 및 제 2 로우 패스 필터(f1, f2)<RELATION_SEP>를 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>트랜스컨덕턴스 증폭기</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 1 | 1 | <ANY>세정이 완료된 웨이퍼캐리어, 구동모터 및 상기 구동모터의 축과 상기 웨이퍼캐리어의 구동축 사이에 연결되어 상기 구동모터의 회전력에 의해 구동되는 벨트를 구비한</ANY> <PATENT_ITEM>스핀건조장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 1 | 2 | <ANY>상기 구동축에 연결되어 상기 구동모터의 회전속도에 따른 신호를 조합하여 상기 구동모터의회전속도</ANY><RELATION_48>를 표시하는</RELATION_48> <COMPONENT>회전속도검출수단</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 1 | 3 | <ANY>상기 회전속도검출수단의 출력전압에 따라 상기 벨트의 이상유무</ANY><RELATION_56>를 감지하는</RELATION_56> <COMPONENT>벨트단선감지수단</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 1 | 4 | <RELATION_1>을 포함하여</RELATION_1> 이루어짐<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>스핀건조장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 1 | <ANY>세정이 완료된 웨이퍼를 건조시키는 스핀건조장치와 주제어장치를 구비한</ANY> <PATENT_ITEM>세정장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 2 | <ANY>상기 세정이 완료된 웨이퍼</ANY><RELATION_1373>를 적재한</RELATION_1373> <COMPONENT>웨이퍼캐리어</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 3 | <ANY>상기 웨이퍼캐리어</ANY><RELATION_1567>를 안착시킨</RELATION_1567> <COMPONENT>받침대</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 4 | <ANY>상기 받침대의 중심부</ANY><RELATION_12>에 연결된</RELATION_12> <COMPONENT>구동축</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 5 | <ANY>외부로부터 동력</ANY><RELATION_438381>을 인가받아 구동하는</RELATION_438381> <COMPONENT>구동모터</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 6 | <ANY>상기 구동모터</ANY><RELATION_52>에 구비된</RELATION_52> <COMPONENT>모터축</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 7 | <ANY>상기 모터축과 구동축을 연결하여 상기 구동모터로부터 전달되는 회전력을 인가받아 상기 받침대에 안착된 웨이퍼캐리어</ANY><RELATION_183>를 회전시키는</RELATION_183> <COMPONENT>벨트</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 8 | <ANY>상기 구동축에 연결되어 상기 구동모터의 회전속도에 따른 신호</ANY><RELATION_1345>를 조합하는</RELATION_1345> <COMPONENT>인코더</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 9 | <ANY>상기 인코더의 출력전압에 따라 상기 웨이퍼캐리어의 스핀건조동작</ANY><RELATION_16>을 제어하는</RELATION_16> <COMPONENT>스핀건조제어부</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000037381 | 11 | 10 | <ANY>상기 스핀건조제어부의 출력전압을 디지탈신호로 변환하여 상기 구동모터의 회전속도</ANY><RELATION_48>를 표시하는</RELATION_48> <COMPONENT>회적속도표시부</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |