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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1020000053074 | 11 | 3 | <ANY>상기 세정조 내부에 상기 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급부를 포함하는</ANY> <COMPONENT>것</COMPONENT><RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>연마 패드 컨디셔너 세정 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054059 | 1 | 1 | <ANY>반도체 제조장치의 펌핑 시스템</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054059 | 1 | 2 | <ANY>진공 상태에서 웨이퍼에 대한 소정의 공정</ANY><RELATION_1006>이 진행되는</RELATION_1006> <COMPONENT>공정 챔버</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054059 | 1 | 3 | <ANY>상기 공정 챔버</ANY><RELATION_12>에 연결되는</RELATION_12> <COMPONENT>진공 라인</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054059 | 1 | 4 | <ANY>상기 진공 라인에 연결되고 상기 공정 챔버 내의 압력</ANY><RELATION_7849>을 낮추기 위한</RELATION_7849> <COMPONENT>진공 펌프</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054059 | 1 | 5 | <ANY>상기 진공 펌프와 상기 공정 챔버 사이의 진공 라인상에 설치되는 그리고 상기 진공 라인을 통해 상기 진공 펌프로 덩어리성 파티클이 유입되는 것을 방지하기 위한</ANY> <COMPONENT>이물질 유입 차단 수단</COMPONENT><RELATION_3>을 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>반도체 제조 장치의 펌핑 시스템</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054459 | 1 | 1 | <ANY>음성녹음 기능을 구비하는</ANY> <PATENT_ITEM>무전기</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054459 | 1 | 2 | <ANY>상기 음성녹음 기능</ANY><RELATION_64>을 설정하는</RELATION_64> <COMPONENT>음성녹음 설정키</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054459 | 1 | 3 | <COMPONENT>마이크</COMPONENT>; | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054459 | 1 | 4 | <ANY>상기 마이크를 통해 입력되는 오디오 신호가 있는가를 감지하여 음성신호가 있는 경우 오디오 경로</ANY><RELATION_20>를 형성하는</RELATION_20> <COMPONENT>음성감지부</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054459 | 1 | 5 | <ANY>상기 마이크를 통해 입력되는 음성신호</ANY><RELATION_2721>를 녹음하는</RELATION_2721> <COMPONENT>음성녹음부</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054459 | 1 | 6 | <ANY>상기 음성녹음 설정키 입력에 따라 상기 음성감지부의 구동을 제어하며, 상기 음성감지부의 구동시 상기 마이크를 통해 입력되는 음성신호</ANY><RELATION_181434>를 녹음하도록 제어하는</RELATION_181434> <COMPONENT>제어부</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054459 | 1 | 7 | <ANY>를 적어도</ANY> <COMPONENT>구비함</COMPONENT><RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>무전기</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054608 | 3 | 1 | <COMPONENT>전자 방출용 에미터</COMPONENT>; | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054608 | 3 | 2 | <ANY>상기 전자 방출용 에미터가 그 위</ANY><RELATION_73>에 고정된</RELATION_73> <COMPONENT>금속 기재</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054608 | 3 | 3 | <ANY>상기 금속 기재의 하부</ANY><RELATION_88>에 연장된</RELATION_88> <COMPONENT>중공형의 슬리이브</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054608 | 3 | 4 | <ANY>상기 슬리이브내에 삽입되는 것으로 소정의 코일 형상으로 성형된 제 1 와이어와 상기 제 1 와이어의 양 단부에 감긴 제 2 와이어</ANY><RELATION_6>를 구비하는</RELATION_6> <COMPONENT>히터 와이어</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054608 | 3 | 5 | 및, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054608 | 3 | 6 | <ANY>상기 히터 와이어</ANY><RELATION_5112>가 용접되는</RELATION_5112> <COMPONENT>히터 지지부</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000054608 | 3 | 7 | <RELATION_SEP>를 구비하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>전자총 캐소드 구조체</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |