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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1020007001949 | 30 | 1 | <ANY>마스크의 패턴을 투영 광학계를 거쳐서 기판에 전사하는</ANY> <PATENT_ITEM>노광 장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 30 | 2 | <ANY>적어도 일부에 기밀실</ANY><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5> <COMPONENT>투영 광학계</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 30 | 3 | <ANY>상기 기밀실을 향하여 특정 가스</ANY><RELATION_22>를 공급하는</RELATION_22> <COMPONENT>가스 공급 장치</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 30 | 4 | <ANY>상기 기밀실에 접속된 배기로</ANY><RELATION_245>를 개폐하는</RELATION_245> <COMPONENT>배기로 개폐기</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 30 | 5 | <ANY>상기 기밀실내에 상기 특정 가스가 충전되었는지 여부</ANY><RELATION_23>를 검출하는</RELATION_23> <COMPONENT>가스 충전도 검출계</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 30 | 6 | <ANY>상기 기밀실과 상기 가스 공급 장치를 접속하는 공급로의 도중에 마련되고, 상기 기밀실내의 압력</ANY><RELATION_6312>을 증감하는</RELATION_6312> <COMPONENT>압력 조정 기구</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 30 | 7 | <ANY>상기 공급로에 있어서의 가스 공급 압력</ANY><RELATION_64>을 설정하는</RELATION_64> <COMPONENT>압력 설정기와</COMPONENT>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 30 | 8 | <ANY>상기 가스 공급 장치에 의한 상기 특정 가스의 공급 개시에 앞서 상기 배기로 개폐기를 열고 또한 상기 압력 설정기를 거쳐서 상기 가스 공급 압력을 제 1 값으로 설정하고, 상기 가스 충전도 검출계에 의해 상기 기밀실내에 상기 특정 가스가 충전된 것이 검출되었을 때, 상기 배기로 개폐기를 닫음과 동시에 상기 압력 설정기를 거쳐서 상기 가스 공급 압력을 상기 제 1 값보다 낮은 제 2 값</ANY><RELATION_338>으로 설정하는</RELATION_338> <COMPONENT>제 1 제어 장치</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 30 | 9 | <ANY>상기 가스 공급 압력이 상기 제 2 값으로 설정된 후, 상기 압력 조정 기구를 거쳐서</ANY> <COMPONENT>상기 기밀실내의 압력 제어</COMPONENT><RELATION_459>를 개시하는</RELATION_459> 제 2 제어 장치<RELATION_SEP>를 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>노광 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 10 | 1 | <ANY>노광용 광원으로부터의 노광광에 의해 조명된 원판의 패턴의 화상을 노광 대상물상에 투영하는 광학계를 포함하는</ANY> <PATENT_ITEM>노광 장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 10 | 2 | <ANY>상기 광학계를 수용하는 수용 부재내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스</ANY><RELATION_311>를 충전하는</RELATION_311> <COMPONENT>가스 공급 장치</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 10 | 3 | <ANY>상기 공간내의 압력</ANY><RELATION_23>을 검출하는</RELATION_23> <COMPONENT>압력 검출기</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 10 | 4 | <ANY>상기 압력 검출기에 의해 검출된 압력에 따라 상기 공간내의 압력이 사전에 결정한 목표값으로 되도록</ANY> <COMPONENT>상기 공간내의 압력</COMPONENT><RELATION_70>을 조절하는</RELATION_70> 압력 조절 장치<RELATION_SEP>를 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>노광 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 1 | 1 | <ANY>노광용 광원으로부터의 노광광에 의해 조명된 원판의 패턴의 화상을 노광 대상물상에 투영하는 광학계를 포함하는</ANY> <PATENT_ITEM>노광 장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 1 | 2 | <ANY>상기 광학계를 수용하는 수용 부재내의 광학 소자간에 형성된 공간에 특정 가스</ANY><RELATION_311>를 충전하는</RELATION_311> <COMPONENT>가스 공급 장치</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 1 | 3 | <ANY>상기 공간내의 압력</ANY><RELATION_23>을 검출하는</RELATION_23> <COMPONENT>압력 검출기</COMPONENT>와, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007001949 | 1 | 4 | <ANY>상기 압력 검출기에 의해 검출된 압력에 따라</ANY> <COMPONENT>상기 광학계의 광학 성능</COMPONENT><RELATION_70>을 조절하는</RELATION_70> 광학 성능 조절 장치<RELATION_SEP>를 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>노광 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007002509 | 1 | 1 | <ANY>믹서 출력 신호를 발생하기 위한</ANY> <PATENT_ITEM>신호 믹싱 장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007002509 | 1 | 2 | <ANY>게이트, 드레인 및 소스를 각각 가지는 제1 및 제2 fet를 포함하는데, 상기 제1 및 제2 fet는 소스-대-소스 직렬접속되고 항상 동일한 크기의 게이트-대-소스 전압을 가지며 항상 동일한 크기이지만 반대부호의 드레인-대-소스 전압을 가지도록 그들의 게이트가 서로 연결되고 그들의 소스도 서로 연결되어 있으며,</ANY> <COMPONENT>상기 제2 fet 드레인은 접지</COMPONENT><RELATION_369>에 접속되어 있으며</RELATION_369> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007002509 | 1 | 3 | <ANY>상기 제1 fet에 접속되며 상기 제1 fet 드레인과 외부 소스 사이에 rf 및 if 신호를 전송하기 위한 rf 신호 결합 포트 및 if 신호 결합 포트와 rf 및 if 신호의 싱크</ANY><RELATION_15>를 가지는</RELATION_15> <COMPONENT>rf/if 디플렉서 회로</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |