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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019997007726 | 24 | 5 | <ANY>d) 적어도 두 개의 상기 증폭기에 응답하여 적어도 하나의 신호는 상기 증폭기의 상기 고주파 출력중 어느 하나보다 큰 전력</ANY><RELATION_1486>을 가지도록 형성되는</RELATION_1486> <COMPONENT>결합 회로</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 24 | 6 | <RELATION_3>를 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>고전력, 고주파 전력 발생기</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 165 | 1 | <ANY>증가된 반사 전력 능력을 가진 고주파 플라즈마</ANY> <PATENT_ITEM>시스템</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 165 | 2 | <ANY>a) dc 전위</ANY><RELATION_15>를 가진</RELATION_15> <COMPONENT>전원</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 165 | 3 | <ANY>b) 고주파 구동 신호</ANY><RELATION_105>를 인가하는</RELATION_105> <COMPONENT>적어도 하나의 구동기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 165 | 4 | <ANY>c) 상기 고주파 구동 신호에 응답하는 청구항 제153,157,161, 또는 163항</ANY><RELATION_7272>에 개시된</RELATION_7272> <COMPONENT>적어도 하나의 전력 증폭기</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 165 | 5 | <ANY>d) 상기 증폭기</ANY><RELATION_366>에 응답하는</RELATION_366> <COMPONENT>적어도 하나의 플라즈마 소자</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 165 | 6 | <RELATION_3>를 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>시스템</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 157 | 1 | <ANY>증가된 반사 전력 능력을 가진</ANY> <PATENT_ITEM>고전력 고주파 발생기</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 157 | 2 | <ANY>a) 상기 디바이스에 대한 특정 다이 온도에서 정격 출력 전력을 통상 설계 로드로 보내기 위해 출력 반도체 디바이스</ANY><RELATION_15>를 가진</RELATION_15> <COMPONENT>발생기</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 157 | 3 | <ANY>b) 상기 발생기로 설계되는데 필요한 것 이상으로 상기 디바이스의 출력 양단</ANY><RELATION_3423>에 부가되는</RELATION_3423> <COMPONENT>증가된 출력 캐패시턴스</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 157 | 4 | <RELATION_3>를 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>고전력 고주파 발생기</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 161 | 1 | <ANY>증가된 반사 전력 능력을 가진 고전력 고주파 발생기</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 161 | 2 | <ANY>a) 상기 디바이스에 대한 특정 다이 온도에서 정격 출력 전력을 통상 설계 로드로 보내기 위해 출력 반도체 디바이스</ANY><RELATION_6>를 구비한</RELATION_6> <COMPONENT>발생기</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 161 | 3 | <ANY>b) 상기 디바이스로 역전송되는 어떠한 반사 전력</ANY><RELATION_435805>도 블로킹하는</RELATION_435805> <COMPONENT>블로킹 소자</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 161 | 4 | <RELATION_3>를 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>고전력 고주파 전력 발생기</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 114 | 1 | <ANY>a) 고주파 증폭기에 기본 주파수에서의 입력 신호</ANY><RELATION_105>를 인가하는</RELATION_105> <COMPONENT>구동기</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 114 | 2 | <ANY>b) 상기 고주파 증폭기의 전원 공급라인으로 전압</ANY><RELATION_105>을 인가하는</RELATION_105> <COMPONENT>전원</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 114 | 3 | <ANY>c) 상기 기본 주파수에서 상기 전원 공급 라인</ANY><RELATION_1096>을 분리시키는</RELATION_1096> <COMPONENT>공진 분리 회로</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019997007726 | 114 | 4 | <ANY>d) 고 주파수에서 고 임피던스를 제공하는 상기 전원 공급 라인</ANY><RELATION_42914>에 직렬배치된</RELATION_42914> <COMPONENT>직렬 소자</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |