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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1020007005462 | 1 | 5 | <ANY>각각의 케이블의 상기 외부 전기 절연체 (4,7) 는 해당 내부 전도 수단의 일단부에 인접하여 이</ANY> <COMPONENT>내부 전도 수단의 상기 일단부</COMPONENT><RELATION_89999>를 둘러싸지 않는,</RELATION_89999> 적어도 하나의 케이블 조인트 어셈블리 (1) <RELATION_SEP>를 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>전력 유도 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 35 | 1 | <ANY>2 차원 방향으로 이동가능한 스테이지상에 기판</ANY><RELATION_3037>을 반입하는</RELATION_3037> <PATENT_ITEM>기판반송장치</PATENT_ITEM>로서, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 35 | 2 | <ANY>기판 수수 위치에서 기판</ANY><RELATION_46>을 지지하는</RELATION_46> <COMPONENT>반입아암</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 35 | 3 | <ANY>상기 스테이지상에 설치되고, 상기 반입아암의 적어도 일부가 삽입가능한 소정 방향으로 연장되는 오목부 또는 노치</ANY><RELATION_13>가 형성된</RELATION_13> <COMPONENT>기판지지부재</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 35 | 4 | <ANY>상기 스테이지를 상기 2 차원 방향</ANY><RELATION_5067>으로 구동시키는</RELATION_5067> <COMPONENT>스테이지 구동장치</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 35 | 5 | <ANY>상기 반입아암과 상기 기판지지부재를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로 상대적</ANY><RELATION_5067>으로 구동시키는</RELATION_5067> <COMPONENT>상대구동기구</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 35 | 6 | <ANY>상기 스테이지를 상기 스테이지 구동장치를 통해 상기 기판 수수 위치를 향해 이동시키는 제 1 기능과, 상기 상대구동기구를 통해 상기 반입아암을 상기 기판지지부재에 접근시킴으로써 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에 상기 반입아암의 적어도 일부를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로부터 삽입하는 제 2 기능과, 상기 기판이 상기 반입아암으로부터 상기 기판지지부재에 건네진 후, 상기 반입아암과 상기 스테이지를 상대적으로 이동시켜 상기 기판을 상기 반입아암으로부터 이간시키는</ANY> <COMPONENT>제 3 기능</COMPONENT><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5> 제어장치<RELATION_SEP>를 구비하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>기판반송장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 1 | 1 | <ANY>기판을 반송하는 반송장치</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 1 | 2 | <ANY>상기 기판의 주변부 중 적어도 2 군데의 주변부를 지지하면서 상기 기판을 스테이지로 반송하는</ANY> <COMPONENT>반송아암</COMPONENT><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>기판반송장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 4 | 1 | <ANY>기판을 지지하는 테이블과, 상기 테이블로 상기 기판을 반송하는 아암을 구비하는 기판 처리장치</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 4 | 2 | <ANY>상기 테이블 주변에 형성된 노치부와, 상기 아암에 설치되고 상기 노치부에 삽입되어</ANY> <COMPONENT>상기 기판의 이면</COMPONENT><RELATION_46>을 지지하는</RELATION_46> 지지부<RELATION_SEP>를 갖는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>기판처리장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 39 | 1 | <ANY>2 차원 방향으로 이동가능한 스테이지상으로부터 기판을 반출함과 동시에 상기 스테이지상에 다른 기판</ANY><RELATION_3037>을 반입하는</RELATION_3037> <PATENT_ITEM>기판반송장치</PATENT_ITEM>로서, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 39 | 2 | <COMPONENT>반출아암</COMPONENT>; | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 39 | 3 | <ANY>상기 기판</ANY><RELATION_444687>을 기판 수수 위치에서 지지하는</RELATION_444687> <COMPONENT>반입아암</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 39 | 4 | <ANY>상기 반출아암</ANY><RELATION_299>을 구동시키는</RELATION_299> <COMPONENT>아암구동기구</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 39 | 5 | <ANY>상기 스테이지상에 설치되고, 상기 기판과의 접촉면측에 상기 기판을 지지한 상태로, 상기 반출아암의 적어도 일부가 삽입가능하고, 또한 상기 반입아암의 적어도 일부를 삽입가능한 제 1 방향으로 연장되는 오목부 또는 노치</ANY><RELATION_13>가 형성된</RELATION_13> <COMPONENT>기판지지부재</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 39 | 6 | <ANY>상기 반출아암 및 상기 반입아암의 적어도 일측과, 상기 기판지지부재를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로 상대적</ANY><RELATION_5067>으로 구동시키는</RELATION_5067> <COMPONENT>상대구동기구</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 39 | 7 | <ANY>상기 스테이지를 상기 2 차원 방향</ANY><RELATION_5067>으로 구동시키는</RELATION_5067> <COMPONENT>스테이지 구동장치</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 39 | 8 | <ANY>상기 반출아암을 상기 아암구동기구를 통해 상기 기판 수수 위치로 이동시키는 제 1 기능과, 상기 기판을 지지한 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에 상기 반출아암의 적어도 일부를 삽입하기 위해 상기 기판 수수 위치를 향해 상기 기판스테이지를 상기 스테이지 구동장치를 통해 이동시키는 제 2 기능과, 상기 반출아암을 상기 오목부 또는 노치에 삽입한 후, 상기 상대구동기구를 통해 상기 기판을 상기 기판지지부재로부터 이간시키는 제 3 기능과, 상기 반출아암을 상기 아암구동기구를 통해 상기 기판 수수 위치로부터 퇴피시키는 제 4 기능과, 상기 반출아암의 퇴피 후에 상기 상대구동기구를 통해 상기 반입아암을 상기 기판지지부재에 접근시킴으로써 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에 상기 반입아암의 적어도 일부를 상기 2 차원 방향에 직교하는 방향으로부터 삽입하는 제 5 기능과, 상기 기판이 상기 반입아암으로부터 상기 기판지지부재에 건네진 후, 상기 반입아암과 상기 스테이지를 상대적으로 이동시켜 상기 기판을 상기 반입아암으로부터 이간시키는</ANY> <COMPONENT>제 6 기능</COMPONENT><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5> 제어장치<RELATION_SEP>를 구비하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>기판반송장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 44 | 1 | <ANY>스테이지상의 기판에 소정의 패턴</ANY><RELATION_2723>을 전사하는</RELATION_2723> <PATENT_ITEM>노광장치</PATENT_ITEM>로서, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |