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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1020007006003 | 44 | 2 | <ANY>제 40 항에 기재된 기판 반송장치를 상기 스테이지상의 기판 교환장치</ANY><RELATION_1774>로서 구비하고</RELATION_1774>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 44 | 3 | <ANY>상기 기판상의 위치검출마크를 검출하는</ANY> <COMPONENT>마크검출계</COMPONENT><RELATION_230>를 더 구비하고</RELATION_230>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 44 | 4 | <ANY>상기 제 2 제어장치는, 상기 연산장치에서 산출된 기판의 2 차원 방향의 위치 어긋남을 상기 반입아암의 위치조정, 상기 스테이지의 위치조정 및 상기 마크검출계에 의한 위치검출마크의 검출결과의 보정 중 어느</ANY> <COMPONENT>하나</COMPONENT><RELATION_2869>로 보정하는</RELATION_2869> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>노광장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 31 | 1 | <ANY>2 차원 방향으로 이동가능한 스테이지로부터 기판</ANY><RELATION_3527>을 반출하는</RELATION_3527> <PATENT_ITEM>기판반송장치</PATENT_ITEM>로서, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 31 | 2 | <COMPONENT>반출아암</COMPONENT>; | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 31 | 3 | <ANY>상기 반출아암</ANY><RELATION_299>을 구동시키는</RELATION_299> <COMPONENT>아암구동기구</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 31 | 4 | <ANY>상기 스테이지상에 설치되어, 상기 기판과의 접촉면측에 상기 기판을 지지한 상태로, 상기 반출아암의 적어도 일부를 삽입할 수 있는 소정 방향으로 연장되는 오목부 또는 노치</ANY><RELATION_13>가 형성된</RELATION_13> <COMPONENT>기판지지부재</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 31 | 5 | <ANY>상기 스테이지를 상기 2 차원 방향</ANY><RELATION_5067>으로 구동시키는</RELATION_5067> <COMPONENT>스테이지 구동장치</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 31 | 6 | <ANY>상기 반출아암과 상기 기판지지부재를 2 차원 방향에 직교하는 방향으로 상대적</ANY><RELATION_5067>으로 구동시키는</RELATION_5067> <COMPONENT>상대구동기구</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 31 | 7 | <ANY>상기 반출아암을 상기 아암구동기구를 통해 기판 수수 위치로 이동시키는 제 1 기능과, 상기 기판을 지지한 상기 기판지지부재의 상기 오목부 또는 노치에 상기 반출아암의 적어도 일부를 삽입하기 위해 상기 기판 수수 위치를 향해 상기 기판 스테이지를 상기 스테이지 구동장치를 통해 이동시키는 제 2 기능과, 상기 반출아암을 상기 오목부 또는 노치에 삽입한 후, 상기 상대구동기구를 통해 상기 기판을 상기 기판지지부재로부터 이간시키는</ANY> <COMPONENT>제 3 기능</COMPONENT><RELATION_5>을 갖는</RELATION_5> 제어장치<RELATION_SEP>를 구비하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>기판반송장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 15 | 1 | <ANY>기판의 위치결정 또는 이동을 행하는 기판 스테이지와, 상기 기판 스테이지상의 상기 기판에 대해 마스크 패턴을 전사하는 노광부를 갖는</ANY> <PATENT_ITEM>노광장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 15 | 2 | <ANY>상기 기판을 지지하면서 그 기판</ANY><RELATION_641>을 승강시키는</RELATION_641> <COMPONENT>반입용 아암</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 15 | 3 | <ANY>상기 반입용 아암에 지지되어 있는 상기 기판의 위치</ANY><RELATION_23>를 검출하는</RELATION_23> <COMPONENT>화상처리계</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 15 | 4 | <ANY>상기 화상처리계의 검출결과에 따라 상기 기판 스테이지 및 상기 반입용 아암의 동작을 제어하는</ANY> <COMPONENT>제어계</COMPONENT><RELATION_8>를 구비하고</RELATION_8>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 15 | 5 | <ANY>상기 제어계는, 상기 화상처리계에서 검출되는 상기 기판 위치에 의거하여, 상기 기판 스테이지를 상기 기판을 받는 위치까지 이동시키고 상기 반입용 아암을 강하시켜</ANY> <COMPONENT>상기 기판</COMPONENT><RELATION_444697>을 상기 기판 스테이지상에 탑재시키는</RELATION_444697> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>노광장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 43 | 1 | <ANY>스테이지상의 기판에 소정의 패턴</ANY><RELATION_2723>을 전사하는</RELATION_2723> <PATENT_ITEM>노광장치</PATENT_ITEM>로서, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 43 | 2 | <ANY>제 31 항, 제 35 항, 제 39 항, 제 42 항 중 어느 한 항에 기재된</ANY> <COMPONENT>기판 반송장치를 상기 스테이지상의 기판 교환장치</COMPONENT><RELATION_1503>로서 구비하는</RELATION_1503> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>노광장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 8 | 1 | <ANY>기판을 반송함과 동시에 기판탑재대와의 사이에서 상기 기판을 수수하는</ANY> <PATENT_ITEM>기판반송장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 8 | 2 | <ANY>상기 기판의 주변부분 중 상기 기판의 반송방향으로 거의 대향하는 1 쌍의 대향부분의 일측을 하측으로부터 지지하는 제 1 지지부와, 당해 제 1 지지부에 입설된 제 1 입설부</ANY><RELATION_5>를 갖는</RELATION_5> <COMPONENT>제 1 아암</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020007006003 | 8 | 3 | <ANY>상기 1 쌍의 대향부분의 타측을 하측으로부터 지지하는 제 2 지지부와, 당해 제 2 지지부에 입설됨과 동시에 상기 제 1 입설부와 협동하여 상기 기판의 수평방향으로의 이동을 저지하는 제 2 입설부</ANY><RELATION_5>를 갖는</RELATION_5> <COMPONENT>제 2 아암</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |