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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1020000061672 | 1 | 2 | <ANY>상기 페이스 패널 내면에 다수의 r, g, b 형광막을 형성하여 전자빔</ANY><RELATION_17351>을 제공받아 발광하는</RELATION_17351> <COMPONENT>형광막 스크린</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000061672 | 1 | 3 | <ANY>상기 형광막 스크린과 절연 상태로 대향 배치되며, 다수의 빔통과용 어퍼쳐를 형성하여 전자빔</ANY><RELATION_439323>을 해당 형광막으로 분리시키는</RELATION_439323> <COMPONENT>섀도우 마스크</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000061672 | 1 | 4 | <ANY>고압 공급원에 연결된 각각의 스크린 전압 인가선과 마스크 전압 인가선</ANY><RELATION_470>을 내장하는</RELATION_470> <COMPONENT>단일의 전압 공급선과</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000061672 | 1 | 5 | <ANY>상기 전압 공급선으로부터 각각의 스크린 전압과 마스크 전압을 공급받아</ANY> <COMPONENT>이를 형광막 스크린과 섀도우 마스크</COMPONENT><RELATION_124>에 전달하는</RELATION_124> 단일의 애노드 버튼<RELATION_SEP>을 포함하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>바이-포텐셜 마스크형 음극선관</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062557 | 1 | 1 | <COMPONENT>후면기판 후면기판상에 일방향으로 스트라이프 형태로 형성되어있는 캐소드전극</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062557 | 1 | 2 | <ANY>상기 캐소드전극이 형성되어있는 후면기판의 전면에 형성되어있는 저항층과,</ANY> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062557 | 1 | 3 | <ANY>상기 캐소드전극과 직교하는 방향으로 형성되고 게이트절연막에 의해 저항층과 절연되되 상기 캐소드전극과 중첩되는 부분에서 돌출되어 전체적으로 빗 형상</ANY><RELATION_106>으로 형성되어 있는</RELATION_106> <COMPONENT>게이트전극</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062557 | 1 | 4 | <ANY>상기 게이트전극과 캐소드전극이 중첩되는 부분의 게이트전극과 게이트절연막이 일정 간격으로 제거되어 저항층</ANY><RELATION_315>을 노출시키는</RELATION_315> <COMPONENT>에미터홀</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062557 | 1 | 5 | <ANY>상기 에미터 홀</ANY><RELATION_364617>에 의해 노출되어있는</RELATION_364617> <COMPONENT>저항층상에 형성되어있는 에미터팁</COMPONENT>과, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062557 | 1 | 6 | <ANY>상기 빗 모양의 게이트전극과 캐소드전극 사이의 공간에 금속기둥 형상으로 형성되되</ANY> <COMPONENT>저항층</COMPONENT><RELATION_8540>과 접촉되어 있는</RELATION_8540> 집속전극<RELATION_SEP>을 구비하는</RELATION_SEP> fed | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 1 | <ANY>내부 진공도가 유지되도록 내벽에 알루미늄 재질</ANY><RELATION_439826>로 산화 피막 된</RELATION_439826> <COMPONENT>챔버과</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 2 | <ANY>상기 챔버의 내부에 혼합 가스</ANY><RELATION_22>를 공급하는</RELATION_22> <COMPONENT>가스공급배관</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 3 | <ANY>상기 가스 공급배관으로 부터 공급되는 혼합가스를 다수개의 홀</ANY><RELATION_439825>을 통해서 분사하는</RELATION_439825> <COMPONENT>상부전극</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 4 | <ANY>상기 상부전극의 온도</ANY><RELATION_17264>를 일정하게 유지시켜 주는</RELATION_17264> <COMPONENT>쿨링 플레이트</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 5 | <ANY>상기 상부전극과 소정의 거리</ANY><RELATION_439822>를 두고 구동하는</RELATION_439822> <COMPONENT>하부전극</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 6 | <ANY>상기 하부전극과 상부전극과의 거리</ANY><RELATION_121>를 조정하는</RELATION_121> <COMPONENT>벨로우즈</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 7 | <COMPONENT>상기 하부전극 상부에 웨이퍼를 잡아주는 포커스 링</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 8 | <ANY>상기 챔버의 일측벽 내부 압력</ANY><RELATION_51>을 측정하는</RELATION_51> <COMPONENT>압력측정기</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 9 | <ANY>상기 챔버의 일측벽에 플라즈마에 의하여 식각된 잔유물</ANY><RELATION_439820>을 배기되는</RELATION_439820> <COMPONENT>배기 배관</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1020000062827 | 1 | 10 | <ANY>상기 배기 배관에는 잔유물을 흡입 배기하는 흡입구를 구비한 펌프로 구성되는</ANY> <COMPONENT>웨이퍼 식각 장치</COMPONENT><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |