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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019870004854 | 1 | 2 | <ANY>a) 이산화 실리콘과 실리콘 나이트라이드로 구성되는 그룹중에서 선택되는 구멍이 뚫린 마스크와 단결정 실리콘</ANY><RELATION_21>을 제공하는</RELATION_21> <COMPONENT>단계</COMPONENT>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870004854 | 1 | 3 | <ANY>b) 니트로겐 트리플루오라이드(nf 3 )와 카본 1원자만</ANY><RELATION_149>을 함유하는</RELATION_149> <COMPONENT>할로플루오로카본(hfc) 화합물이 1-2nf 3</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870004854 | 1 | 4 | <ANY>1-3hfc비율인 에칭 조운내의 분위기에 상기 기판</ANY><RELATION_315>을 노출시키는</RELATION_315> <COMPONENT>단계</COMPONENT>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870004854 | 1 | 5 | <ANY>c) 상기 플라즈마의 이온들을 상기 마스크의 개구를 통해 단결정 실리콘 기판내로 향하게 하므로써 플라즈마 분위기를 생성하고 상기 기판을 비등방성의 리액티브 이온 에칭하는 단계를 구비하고, 상기 에칭은 500-2000와트의 전력과 1-50mhz의 주파수를 사용해서 적어도 0.1미크론/분의 빠른 속도로 실행되어, 상기 기판에 수직 깊이가 3-15미크론이고 마스크의 언더커팅 및 트렌치의 보잉이 실질적으로 전재하지 않는</ANY> <COMPONENT>디프 트렌치</COMPONENT><RELATION_7827>를 형성하게 되는</RELATION_7827> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>실리콘의 플라즈마 에칭공정</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 1 | 1 | <ANY>전자레인지</ANY><RELATION_176>에 사용되는</RELATION_176> <COMPONENT>인터록 스위치 장치 구성</COMPONENT>이, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 1 | 2 | <ANY>a) 아래와 같은 형상</ANY><RELATION_148>으로 된</RELATION_148> <COMPONENT>단일형 베이스 플레이트</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 1 | 3 | <ANY>i)상하측부에 본 베이스 플레이트를 조절 가능하게 부착시키기 위해 타원형상의 장공(22a)(22b)</ANY><RELATION_13>이 형성된</RELATION_13> <COMPONENT>1차 평판(21)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 1 | 4 | <ANY>ii) 1차평판과 직각을 이루고 1차, 2차 작동구(19)(20)의 1차, 2차 삽입홀(16)(18)</ANY><RELATION_13>이 형성된</RELATION_13> <COMPONENT>2차평판(14)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 1 | 5 | <ANY>iii) 본 베이스 플레이트상에 다수의 스위치들을 배치하고 고정시키기 위하여 본 베이스 플레이트상에 수직방법</ANY><RELATION_9598>으로 돌출 형성한</RELATION_9598> <COMPONENT>다수의 고정수단들</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 1 | 6 | <ANY>iv) 본 베이스 플레이트면으로</ANY> <RELATION_399910>부터 수직 돌출 형성된</RELATION_399910> <COMPONENT>1차 및 2차 샤프트 수단들(62)(64)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 1 | 7 | <ANY>b) 1차 샤프트 수단(62)에 끼워져 2차 작동구 삽입홀 (16)을 통하여 들어오는 1차 작동구(19)에 의해 접속 연동되며 1차 작동구(19)의 수평 왕복운동이 회전운동으로 전환되어 본 베이스 플레이트의 다수 스위치 중 하나인 1차 스위치</ANY><RELATION_1851>를 조작하는</RELATION_1851> <COMPONENT>1차 액튜에이터(34)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 1 | 8 | <ANY>c)2차 샤프트 수단(64)에 끼워져 2차 작동구 삽입홀(18)을 통하여 들어오는 2차 작동구(20)에 의해 접속 연동되며 2차 작동구(20)의 수평 왕복운동이 회전운동으로 전환되어 본 베이스 플레이트상에 위치한 다수의 스위치중 2차 스위치를 조작하는 2차 액튜에이터(36)와 또한 1차, 2차 작동구(19)(20)가 동시에 운동하지 못하고 그 중의 하나만이 작용하는 경우에는 1차 액튜에이터(34)와 2차 액튜에이터(36)모두가 어느</ANY> <COMPONENT>스위치</COMPONENT>와<RELATION_625240>도 작동되지 못하도록</RELATION_625240> 액튜에이터의 각각에 접촉부(50a)(50b)가 형성됨<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>전자레인지의 인터록 스위치 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 9 | 1 | <ANY>전자레인지</ANY><RELATION_29>에 설치되는</RELATION_29> <COMPONENT>인터록 스위치 장치구성</COMPONENT>이, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 9 | 2 | <ANY>a)아래와 같은 형상</ANY><RELATION_148>으로 된</RELATION_148> <COMPONENT>단일형 베이스 플레이트</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 9 | 3 | <ANY>i)상하측부에 본 베이스 플레이트를 조절 가능하게 부착시키기 위해 타원형상의 장공</ANY><RELATION_13>이 형성된</RELATION_13> <COMPONENT>1차평판</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 9 | 4 | <ANY>ii)본 베이스 플레이트상에 다스의 스위치들을 배치하고 고정시키기 위해 본 베이스 플레이트상에 수직방향</ANY><RELATION_527>으로 돌출 형성된</RELATION_527> <COMPONENT>다수의 고정수단들</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 9 | 5 | <ANY>iii)본 베이스 플레이트상</ANY><RELATION_399915>에 수직 돌출 형성된</RELATION_399915> <COMPONENT>1차 및 2차 샤프트 수단들</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 9 | 6 | <ANY>b)1차 샤프트 수단에 끼워져 1차 작동구 삽입홀을 통하여 들어오는 2차 작동구에 의해 접속 연동되면서 1차 작동구의 수평왕복운동이 회전운동으로 전환되어 본 베이스 플레이트상이 다수 스위치중 1차 스위치를 작동시키고 정지시키는 역할</ANY><RELATION_89>을 하는</RELATION_89> <COMPONENT>1차 액튜에이터</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 9 | 7 | <ANY>c)2차 샤프트 수단에 끼워져 2차 작동구 삽입홀을 통하여 들어오는 2차 작동구에 의해 접속 연동되면서 2차 작동구의 수평 왕복운동이 회전운동으로 전환되어 본 베이스 플레이트상에 위치한 다수의 스위치 중 2차 스위치를 작동시키고 정지시키는 2차 액튜에이터와 또한 1차, 2차 작동구가 동시에 작동하지 않고 그 중의 하나만이 작동하는 경우에는 1차 액튜에이터와 2차 액튜에이터 모두가 어느 스위치와도 작동하지 못하도록 액튜에이터 각각</ANY><RELATION_399914>에 형성되어 접속되는</RELATION_399914> <COMPONENT>접촉부</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019870005097 | 9 | 8 | <ANY>d)본</ANY> <COMPONENT>전자레인지가 전면 판넬</COMPONENT><RELATION_30>을 갖고</RELATION_30> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |