원시데이터
특허 지식베이스 원시데이터
청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019950031960 | 1 | 4 | <ANY>상기 게이트 전극층에 전기적으로 접속되어 상기 게이트 전극층에 회로 신호</ANY><RELATION_402>를 전달하기 위한</RELATION_402> <COMPONENT>제1배선층(20)</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950031960 | 1 | 5 | <ANY>및 상기 게이트 전극층과 상기 제1배선층 사이에 삽입되어, 저항과 다이오드를 구성하는</ANY> <COMPONENT>불순물 확산층(30,40)</COMPONENT><RELATION_6>을 구비하는</RELATION_6> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>반도체 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950038053 | 1 | 1 | <ANY>입력되는 교류 전압에 무관하게 동작에 필요한 전압</ANY><RELATION_35>을 발생시키는</RELATION_35> <COMPONENT>메인 전원 공급 장치</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950038053 | 1 | 2 | <ANY>교류 전원의 공급 상태가 정상 상태일 때 전압을 충전하여, 정전시 상기 메인 전원 공급 장치로 충전 전압을 공급하여 동작에 필요한 전압</ANY><RELATION_38077>을 발생시킬 수 있도록 하는</RELATION_38077> <COMPONENT>보조 전원 공급 장치</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950038053 | 1 | 3 | <ANY>입력되는 교류 전인의 상태에 따라 출력 상태가 변화하여 상기 보조 전원 공급 장치를 구동하기 위한 제어 신호를 출력하는 정전 간지</ANY> <COMPONENT>수단</COMPONENT><RELATION_60>을 포함하여 이루어지는</RELATION_60> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>전원 공급 장치의 정전 감지 회로</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950039207 | 1 | 1 | <ANY>챔버(12)에 세정용 가스를 주입하여 내부의 부산물을 세척하고, 세척된 부산물이 혼합된 배기물이 배기펌프(14)에 의해서 cdo 스크루버(16)에 통하여 가연배기덕트 (18)로 배기되도록 구성되어 있는</ANY> <PATENT_ITEM>반도체소자의 제조장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950039207 | 1 | 2 | <ANY>상기 cdo 스크루버(16)와 상기 가연배기덕트(18)사이에 연결된 배관</ANY><RELATION_1421>에서 분기되는</RELATION_1421> <COMPONENT>분기배관</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950039207 | 1 | 3 | <ANY>상기 부기배관</ANY><RELATION_227>에 연결되어 있는</RELATION_227> <COMPONENT>산기배기덕트(32)</COMPONENT>와 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950039207 | 1 | 4 | <ANY>상기 배관과 상기 분기배관에 각각 설치되어 있고 그리고 서로 연동하여 작동하는 제1, 2밸브(30a, 30b)를 부가하여, 막형성공정시에는 배기물이 상기 제1밸브(30a)만을 통하여 상기 가연배기덕트(18)로 제공되고 그리고 챔버세정공정시에는 상기 배기물이 상기 제2밸브(30b)만을 통하여</ANY> <COMPONENT>상기 산배기덕트(32)</COMPONENT><RELATION_411203>로 제공되도록 작동되는</RELATION_411203> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>반도체소자의 제조장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950043170 | 1 | 1 | <ANY>수신 섹션과 송신 섹션을 갖는 단일 트렁크 그룹의 다수의 무선 채널 유닛과 다수의 안테나 빔을 상호접속시키는</ANY> <PATENT_ITEM>스캐닝 및 타겟팅 시스템</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950043170 | 1 | 2 | <ANY>상기 각 무선 채널 유닛의 수신 섹션과 평균적으로 샘플링 주기동안 상기 하나의 무선 채널 유닛의 동작 주파수에서 rf 신호의 수신된 가장 강한 신호 강도를 갖는 다수의 안테나 중 어느 하나</ANY><RELATION_411200>를 동적으로 접속시키는</RELATION_411200> <COMPONENT>수신 수단</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950043170 | 1 | 3 | <ANY>상기 각 무선 채널 유닛의 송신 섹션과 상기 샘플링 주기동안 송신된 rf 신호에 대해 요망되는 목적지에 대응하는 방향으로 상기 하나의 무선 채널 유닛의 동작 주파수에서 rf 신호를 전송하기에 가장 적합한 다수의 안테나중 어느 하나를 동적으로 접속시키는</ANY> <COMPONENT>송신 수단</COMPONENT><RELATION_3>을 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>스캐닝 및 타겟팅 시스템</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950043170 | 6 | 1 | <ANY>각각 수신 섹션과 송신 섹션을 갖는 다수의 무선 채널 유닛과 다수의 안테나 빔을 가지며, rf 신호와 이격된 이동 무선기를 교체하기 위해 단일 트렁크 그룹의 무선 채널 유닛의 송신 및 수신 섹션과 안테나 빔을 상호접속시키는 스캐닝 및 타겟팅 시스템을 갖는</ANY> <PATENT_ITEM>육상 이동 무선 베이스 사이트</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950043170 | 6 | 2 | <ANY>상기 각 무선 채널 유닛의 수신 섹션과 평균적으로 샘플링 주기동안 상기 하나의 무선 채널 유닛의 동작 주파수에서 rf 신호의 수신된 가장 강한 신호 강도를 갖는 다수의 안테나 빔중 어느 하나</ANY><RELATION_411200>를 동적으로 접속시키는</RELATION_411200> <COMPONENT>수신 수단</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950043170 | 6 | 3 | <ANY>상기 각 무선 채널 유닛의 송신 섹션과 평균적으로 샘플링 주기동안 송신된 rf 신호에 대해 요망되는 목적지에 대응하는 방향으로 상기 하나의 무선 채널 유닛의 동작 주파수에서 rf 신호를 송신하기에 가장 적합한 다수의 안테나중 어느 하나를 동적으로 접속시키는</ANY> <COMPONENT>송신 수단</COMPONENT><RELATION_3>을 포함하는</RELATION_3> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>육상 이동 무선 베이스 사이트</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950045972 | 14 | 1 | <ANY>화학 증기 증착 상태하에서 기판상에 약 1:1 내지 약 1:10,000 비율로 탄소-함유 기체 및 실리콘-함유 기체의 혼합물을 분석하는 단계를 포함하며, 내부에 포함된 치환 탄소를 갖는</ANY> <COMPONENT>반도체 층</COMPONENT><RELATION_2497>을 성장시키는</RELATION_2497> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>공정</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950046109 | 1 | 1 | <ANY>브러쉬아암(16)에 연결된 브러쉬축(15)에 의해서 고정된 브러쉬(14)를 회전시켜서 웨이퍼(12)상에 있는 파티클을 제거하는</ANY> <PATENT_ITEM>파티클제거장치</PATENT_ITEM><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950046109 | 1 | 2 | <ANY>상기 브러쉬(14)가 상기 웨이퍼(12)의 표면에 접촉하는 압력을 검출하여 대응하는 전기적신호</ANY><RELATION_10>를 출력하는</RELATION_10> <COMPONENT>검출수단(20)</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950046109 | 1 | 3 | <ANY>상기 검출수단에서 출력된 전기신호를 입력하여, 적정의 브러쉬갭에 대응하는 기준신호와 비교하여</ANY> <RELATION_631150>서 모터제어신호를 출력하는</RELATION_631150> <COMPONENT>신호처리수단(30)</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019950046109 | 1 | 4 | <ANY>상기 모터제어신호에 따라 상기 브러쉬아암(16)의 높이를 조절하는 갭조절수단(60)을 포함하여, 상기 브러쉬아암(16)의 높이조절에 따</ANY> <COMPONENT>상기 브러쉬갭이 조절되</COMPONENT>는 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>파티클제거장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |