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청구항 목록 (server1). 청구항 텍스트의 태그를 그대로 표시합니다. "가공데이터"를 누르면 해당 출원의 CoT 가공 결과가 팝업으로 열립니다.
| 출원번호 | 청구항 | 순번 | 청구항 텍스트 (XML) | 청구항 속성 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1019990058215 | 1 | 2 | <ANY>상기 반응기와 전기적으로 연결되지 않도록 상기 반응기내</ANY><RELATION_433227>에 위치하며 웨이퍼가</RELATION_433227> <COMPONENT>안착되어지는 서셉터</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990058215 | 1 | 3 | <ANY>상기 반응기의 상부 외측</ANY><RELATION_29>에 설치된</RELATION_29> <COMPONENT>플라즈마전극</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990058215 | 1 | 4 | <ANY>상기 서셉터와 플라즈마 전극에 rf 전력을 공급하기 위하여 이들과 각각 전기적</ANY><RELATION_12>으로 연결되는</RELATION_12> <COMPONENT>rf 전력공급원</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990058215 | 1 | 5 | <ANY>상기 rf 전력공급원에서 공급되는 rf 전력을 상기 서셉터 또는 플라즈마전극에 선택적으로 또는 동시에 인가시키기 위한</ANY> <COMPONENT>rf 계전기</COMPONENT><RELATION_6>를 구비하는</RELATION_6> 것<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>반도체 소자 제조 장치</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 2 | 1 | <ANY>전압발생기의 캐패시터</ANY><RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 2 | 2 | <ANY>반도체 기판의 액티브영역 상부에 상기 반도체 기판과 교차하는 방향</ANY><RELATION_4>으로 형성된</RELATION_4> <COMPONENT>평판캐패시터의 일전극</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 2 | 3 | <ANY>상기 평판캐패시터의 일전극과 일정 폭 오버랩되며 상기 액티브영역과 접지노드용 폴리실리콘콘택을 이용하여 병렬</ANY><RELATION_12>로 연결되는</RELATION_12> <COMPONENT>실린더형 캐패시터의 하부전극</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 2 | 4 | <ANY>상기 실린더형 캐패시터의 일전극 상부에 액티브영역과 동일 방향</ANY><RELATION_4>으로 형성된</RELATION_4> <COMPONENT>실린더형 캐패시터의 상부전극</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 2 | 5 | <ANY>상기 평판캐패시터의 일전극</ANY><RELATION_12>에 연결된</RELATION_12> <COMPONENT>제1고전압입력노드용 금속콘택</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 2 | 6 | <ANY>상기 실린더형 캐패시터의 상부전극</ANY><RELATION_12>에 연결된</RELATION_12> <COMPONENT>제2고전압입력노드용 금속콘택</COMPONENT>; 및 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 2 | 7 | <ANY>상기 액티브영역</ANY><RELATION_12>에 연결된</RELATION_12> <COMPONENT>접지노드용 금속콘택</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 2 | 8 | <RELATION_1>을 포함하여</RELATION_1> 이루어짐<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>전압발생기의 병렬캐패시터</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 1 | 1 | <PATENT_ITEM>병렬</PATENT_ITEM> 캐패시터<RELATION_PRE><RELATION_2>에 있어서</RELATION_2></RELATION_PRE>, | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 1 | 2 | <ANY>반도체 기판, 게이트산화막, 게이트전극</ANY><RELATION_19>으로 이루어진</RELATION_19> <COMPONENT>평판캐패시터</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 1 | 3 | <ANY>상기 평판캐패시터의 상층부에 폴리실리콘콘택을 통해 병렬</ANY><RELATION_12>로 연결된</RELATION_12> <COMPONENT>실린더형 캐패시터의 일전극</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 1 | 4 | <ANY>상기 실린더형 캐패시터의 일전극 상부에 유전체</ANY><RELATION_600>를 포함하여 형성된</RELATION_600> <COMPONENT>실린더형 캐패시터의 다른 하나의 전극</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990063757 | 1 | 5 | <RELATION_1>을 포함하여</RELATION_1> 이루어짐<RELATION_SEP>을 특징으로 하는</RELATION_SEP> <PATENT_ITEM>병렬 캐패시터</PATENT_ITEM> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990065772 | 1 | 1 | <ANY>전원</ANY><RELATION_147>을 입력하는</RELATION_147> <COMPONENT>입력단</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990065772 | 1 | 2 | <ANY>상기 입력단에서 입력되는 전원을 각 부분으로 공급하는 입력연결부와, 입력된 전원을 공급하여 입력전압을 원하는 출력전압으로 변환시키는 유니트를 장착하기 위한 적어도 두개 이상의 유니트 체결부와, 상기 유니트 체결부에 장착된 유니트에서 변환된 전원을 공급받아 출력하는 출력단과, 상기 유니트들의 출력을 유사한 비율로 조정 분배하거나 유니트 및 각회로들을 감시하는 감시 및 조정 회로</ANY><RELATION_19>로 이루어진</RELATION_19> <COMPONENT>본체부와</COMPONENT> | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |
| 1019990065772 | 1 | 3 | <ANY>상기 본체부의 유니트 체결부에 체결되어 본체부의 입력단으로부터 입력된 전압</ANY><RELATION_432861>을 원하는 출력전압으로 변환시키는</RELATION_432861> <COMPONENT>적어도 두개 이상의 유니트들</COMPONENT>과 | 독립항-공개공보 | 가공데이터 |